Моделирование генерации плазмы и электронного пучка в источниках с плазменным катодом

Нгуен Бао Хынг
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Актуальность работы
В настоящее время находят все большее применение плазменно-пучковые
технологии модификации поверхности материалов и изделий. Для этих целей
разрабатываются генераторы плазмы и электронные источники с плазменным
катодом на основе дугового разряда [1-17].
Эффективная ионная очистка и азотирование поверхности деталей
осуществляется в газоразрядной системе на основе несамостоятельного тлеющего
разряда с полым катодом большой площади [18-22]. В этой системе напряжение
горения разряда порядка сотен вольт, благодаря внешней инжекции электронов
обеспечивается регулировка тока разряда и напряжения его горения независимо
от давления и сорта рабочего газа. Для эффективной плазменной обработки
деталей, расположенных в полом катоде, важным является управление
характеристиками несамостоятельного газового разряда низкого давления.
Электронные источники с плазменным катодом на основе дугового разряда
с сеточной стабилизацией плазменной границы на основе серии «СОЛО» [1-12],
обеспечивают формирование импульсов с длительностью от десятков до сотен
микросекунд, амплитудой тока до сотен ампер при энергии электронов в десятки
кэВ, предельные плотности энергии 100 Дж/см2 за один импульс и плотности тока
(1÷10) A/см2 [4-12]. Влияние эмиссии электронов из плазмы на его потенциал, а
также наличие ионного тока, поступающего из ускоряющего промежутка на
эмиссионный электрод и разрядную систему плазменного катода является
характерной особенностью электронных источников с плазменным катодом и
сеточным эмиссионным электродом. Это может приводить к нарушению работы
плазменного катода в связи с неконтролируемым изменением параметров
генерируемого им электронного пучка и, как следствие, пробою ускоряющего
промежутка [6,12,17]. Поэтому теоретическое исследование потенциала плазмы и
условий пробоя ускоряющего промежутка в электронных источниках с
плазменным катодом и сеточной стабилизацией эмиссионной границы плазмы
представляет интерес.

1. Получено условие горения тлеющего разряда в полом катоде большой
площади в несамостоятельном режиме горения. Теоретически с применением
численного моделирования показано, что в полом катоде управление основными
характеристиками тлеющего разряда (напряжением горения разряда, его током и
концентрацией плазмы) при изменении соотношений площадей анода, катода и
деталей, находящихся под потенциалом катода, осуществляется током
дополнительной инжекции электронов в катодную полость. В несамостоятельном
режиме горения тлеющего разряда при удержании плотности ионного тока
напряжение горения снижается с 980÷600 В до 385÷290 В в аргоновой плазме
(δ = 0,07) и c 770÷650 В до 515÷370 В в азотной плазме (δ = 0,11) при и давлении
р = 0,35÷1 Па, обеспечивая плотности генерируемой плазмы 3 × 1011 см-3 (азот) и
6 × 1011 см-3(аргон). Численным моделированием показано, что активный экран,
окружающий детали, обеспечивая дополнительный нагрев деталей, уменьшает
время нагрева деталей до 1 часа.
2. Теоретически показано, что в электронном источнике с сеточным
плазменным катодом на основе дугового разряда низкого давления взаимосвязь
процессов генерации пучковой плазмы в плазменном аноде, созданным
электронным пучком, и разрядной плазмы в плазменном катоде, определяется
влиянием потока ионов из плазменного анода и ускоряющим напряжением. В
режиме эмиссии электронов происходит смена полярности напряжения между
катодом и эмиссионным электродом, что связано с влиянием ускоряющего
напряжения на потенциал плазмы (относительно эмиссионного электрода) и его
сильной зависимостью от давления газа.
3. Теоретически показано, что в электронном источнике амплитуда и форма
импульса тока пучка определяются импульсом тока разряда, а также процессами в
плазменном аноде. Эти процессы связаны с объемной ионизацией газа
электронами пучка и плазмы, а также с ионно-электронной эмиссией на
поверхности эмиссионного электрода и границы разрядной плазмы,
ответственной за усиление тока эмиссии в ускоряющем промежутке.
4. Теоретически показано, что в электронных источниках с плазменным
катодом на основе дугового разряда с сеточной стабилизацией эмиссионной
границы плазмы в режиме усиления тока эмиссии определяющим фактором
пробоя ускоряющего промежутка является превышение потенциала плазмы выше
критического, при котором происходит пробой слоя плазма – сеточный электрод.
В диапазоне рабочих давлений газа (аргон) (0,035÷0,1 Па) в электронных
источниках с плазменным катодом на основе дугового разряда низкого давления
максимальное значение потенциала плазмы, при котором отсутствует пробой
ускоряющего промежутка, соответствует 270÷170 В.
5. Численно получено, что в многоапертурном плазменном эмиттере при
увеличении сопротивления в цепи анода (до 10 Ом) и относительной площади
маски (до 50 % площади эмиссионной сетки), уменьшающей геометрическую
прозрачность эмиссионной поверхности, увеличивается концентрация разрядной
плазмы (более 30 %) за счет дополнительной ионизации газа отраженными
электронами от стенок разрядной полости области.
6. Теоретически с применением численного моделирования показано, что
основные потери тока пучка в многоапертурном электронном источнике с
плазменным катодом происходят на выпускной фольге за счет отражения и
поглощения электронов (более 12 %); потери на опорной решетке, обусловлены
расширением поперечного сечения элементарных электронных пучков в
ускоряющем промежутке и затеканием плазмы маски при неплотном ее
прилегании к сетке (7 %); потери счет ионного тока менее 1 % (при плотности
тока 0,1 А/см2 и при давлении газа 0,04 Ра, диаметры отверстий маски и решетки
8 и 15 мм, длина ускоряющего промежутка 12 см). При точной юстировке
отверстий в маске эмиссионной структуры и опорной решетке уменьшить потери
тока пучка на опорной решетке выпускного фольгового окна можно за счет
снижения краевых эффектов отверстий маски.

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Помогаем с подготовкой сопроводительных документов

    Совместно разработаем индивидуальный план и выберем тему работы Подробнее
    Помощь в подготовке к кандидатскому экзамену и допуске к нему Подробнее
    Поможем в написании научных статей для публикации в журналах ВАК Подробнее
    Структурируем работу и напишем автореферат Подробнее

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Дмитрий Л. КНЭУ 2015, Экономики и управления, выпускник
    4.8 (2878 отзывов)
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    #Кандидатские #Магистерские
    5125 Выполненных работ
    Сергей Е. МГУ 2012, физический, выпускник, кандидат наук
    4.9 (5 отзывов)
    Имеется большой опыт написания творческих работ на различных порталах от эссе до кандидатских диссертаций, решения задач и выполнения лабораторных работ по любым напра... Читать все
    Имеется большой опыт написания творческих работ на различных порталах от эссе до кандидатских диссертаций, решения задач и выполнения лабораторных работ по любым направлениям физики, математики, химии и других естественных наук.
    #Кандидатские #Магистерские
    5 Выполненных работ
    Антон П. преподаватель, доцент
    4.8 (1033 отзыва)
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публик... Читать все
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публикуюсь, имею высокий индекс цитирования. Спикер.
    #Кандидатские #Магистерские
    1386 Выполненных работ
    Татьяна С. кандидат наук
    4.9 (298 отзывов)
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (пос... Читать все
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (поставки напрямую с издательств), доступ к библиотеке диссертаций РГБ
    #Кандидатские #Магистерские
    551 Выполненная работа
    Екатерина Б. кандидат наук, доцент
    5 (174 отзыва)
    После окончания института работала экономистом в системе государственных финансов. С 1988 года на преподавательской работе. Защитила кандидатскую диссертацию. Преподав... Читать все
    После окончания института работала экономистом в системе государственных финансов. С 1988 года на преподавательской работе. Защитила кандидатскую диссертацию. Преподавала учебные дисциплины: Бюджетная система Украины, Статистика.
    #Кандидатские #Магистерские
    300 Выполненных работ
    Глеб С. преподаватель, кандидат наук, доцент
    5 (158 отзывов)
    Стаж педагогической деятельности в вузах Москвы 15 лет, автор свыше 140 публикаций (РИНЦ, ВАК). Большой опыт в подготовке дипломных проектов и диссертаций по научной с... Читать все
    Стаж педагогической деятельности в вузах Москвы 15 лет, автор свыше 140 публикаций (РИНЦ, ВАК). Большой опыт в подготовке дипломных проектов и диссертаций по научной специальности 12.00.14 административное право, административный процесс.
    #Кандидатские #Магистерские
    216 Выполненных работ
    Анастасия Б.
    5 (145 отзывов)
    Опыт в написании студенческих работ (дипломные работы, магистерские диссертации, повышение уникальности текста, курсовые работы, научные статьи и т.д.) по экономическо... Читать все
    Опыт в написании студенческих работ (дипломные работы, магистерские диссертации, повышение уникальности текста, курсовые работы, научные статьи и т.д.) по экономическому и гуманитарному направлениях свыше 8 лет на различных площадках.
    #Кандидатские #Магистерские
    224 Выполненных работы
    Логик Ф. кандидат наук, доцент
    4.9 (826 отзывов)
    Я - кандидат философских наук, доцент кафедры философии СГЮА. Занимаюсь написанием различного рода работ (научные статьи, курсовые, дипломные работы, магистерские дисс... Читать все
    Я - кандидат философских наук, доцент кафедры философии СГЮА. Занимаюсь написанием различного рода работ (научные статьи, курсовые, дипломные работы, магистерские диссертации, рефераты, контрольные) уже много лет. Качество работ гарантирую.
    #Кандидатские #Магистерские
    1486 Выполненных работ
    Вирсавия А. медицинский 1981, стоматологический, преподаватель, канди...
    4.5 (9 отзывов)
    руководитель успешно защищенных диссертаций, автор около 150 работ, в активе - оппонирование, рецензирование, написание и подготовка диссертационных работ; интересы - ... Читать все
    руководитель успешно защищенных диссертаций, автор около 150 работ, в активе - оппонирование, рецензирование, написание и подготовка диссертационных работ; интересы - медицина, биология, антропология, биогидродинамика
    #Кандидатские #Магистерские
    12 Выполненных работ

    Другие учебные работы по предмету