Моделирование генерации плазмы и электронного пучка в источниках с плазменным катодом

Нгуен Бао Хынг
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Актуальность работы
В настоящее время находят все большее применение плазменно-пучковые
технологии модификации поверхности материалов и изделий. Для этих целей
разрабатываются генераторы плазмы и электронные источники с плазменным
катодом на основе дугового разряда [1-17].
Эффективная ионная очистка и азотирование поверхности деталей
осуществляется в газоразрядной системе на основе несамостоятельного тлеющего
разряда с полым катодом большой площади [18-22]. В этой системе напряжение
горения разряда порядка сотен вольт, благодаря внешней инжекции электронов
обеспечивается регулировка тока разряда и напряжения его горения независимо
от давления и сорта рабочего газа. Для эффективной плазменной обработки
деталей, расположенных в полом катоде, важным является управление
характеристиками несамостоятельного газового разряда низкого давления.
Электронные источники с плазменным катодом на основе дугового разряда
с сеточной стабилизацией плазменной границы на основе серии «СОЛО» [1-12],
обеспечивают формирование импульсов с длительностью от десятков до сотен
микросекунд, амплитудой тока до сотен ампер при энергии электронов в десятки
кэВ, предельные плотности энергии 100 Дж/см2 за один импульс и плотности тока
(1÷10) A/см2 [4-12]. Влияние эмиссии электронов из плазмы на его потенциал, а
также наличие ионного тока, поступающего из ускоряющего промежутка на
эмиссионный электрод и разрядную систему плазменного катода является
характерной особенностью электронных источников с плазменным катодом и
сеточным эмиссионным электродом. Это может приводить к нарушению работы
плазменного катода в связи с неконтролируемым изменением параметров
генерируемого им электронного пучка и, как следствие, пробою ускоряющего
промежутка [6,12,17]. Поэтому теоретическое исследование потенциала плазмы и
условий пробоя ускоряющего промежутка в электронных источниках с
плазменным катодом и сеточной стабилизацией эмиссионной границы плазмы
представляет интерес.

1. Получено условие горения тлеющего разряда в полом катоде большой
площади в несамостоятельном режиме горения. Теоретически с применением
численного моделирования показано, что в полом катоде управление основными
характеристиками тлеющего разряда (напряжением горения разряда, его током и
концентрацией плазмы) при изменении соотношений площадей анода, катода и
деталей, находящихся под потенциалом катода, осуществляется током
дополнительной инжекции электронов в катодную полость. В несамостоятельном
режиме горения тлеющего разряда при удержании плотности ионного тока
напряжение горения снижается с 980÷600 В до 385÷290 В в аргоновой плазме
(δ = 0,07) и c 770÷650 В до 515÷370 В в азотной плазме (δ = 0,11) при и давлении
р = 0,35÷1 Па, обеспечивая плотности генерируемой плазмы 3 × 1011 см-3 (азот) и
6 × 1011 см-3(аргон). Численным моделированием показано, что активный экран,
окружающий детали, обеспечивая дополнительный нагрев деталей, уменьшает
время нагрева деталей до 1 часа.
2. Теоретически показано, что в электронном источнике с сеточным
плазменным катодом на основе дугового разряда низкого давления взаимосвязь
процессов генерации пучковой плазмы в плазменном аноде, созданным
электронным пучком, и разрядной плазмы в плазменном катоде, определяется
влиянием потока ионов из плазменного анода и ускоряющим напряжением. В
режиме эмиссии электронов происходит смена полярности напряжения между
катодом и эмиссионным электродом, что связано с влиянием ускоряющего
напряжения на потенциал плазмы (относительно эмиссионного электрода) и его
сильной зависимостью от давления газа.
3. Теоретически показано, что в электронном источнике амплитуда и форма
импульса тока пучка определяются импульсом тока разряда, а также процессами в
плазменном аноде. Эти процессы связаны с объемной ионизацией газа
электронами пучка и плазмы, а также с ионно-электронной эмиссией на
поверхности эмиссионного электрода и границы разрядной плазмы,
ответственной за усиление тока эмиссии в ускоряющем промежутке.
4. Теоретически показано, что в электронных источниках с плазменным
катодом на основе дугового разряда с сеточной стабилизацией эмиссионной
границы плазмы в режиме усиления тока эмиссии определяющим фактором
пробоя ускоряющего промежутка является превышение потенциала плазмы выше
критического, при котором происходит пробой слоя плазма – сеточный электрод.
В диапазоне рабочих давлений газа (аргон) (0,035÷0,1 Па) в электронных
источниках с плазменным катодом на основе дугового разряда низкого давления
максимальное значение потенциала плазмы, при котором отсутствует пробой
ускоряющего промежутка, соответствует 270÷170 В.
5. Численно получено, что в многоапертурном плазменном эмиттере при
увеличении сопротивления в цепи анода (до 10 Ом) и относительной площади
маски (до 50 % площади эмиссионной сетки), уменьшающей геометрическую
прозрачность эмиссионной поверхности, увеличивается концентрация разрядной
плазмы (более 30 %) за счет дополнительной ионизации газа отраженными
электронами от стенок разрядной полости области.
6. Теоретически с применением численного моделирования показано, что
основные потери тока пучка в многоапертурном электронном источнике с
плазменным катодом происходят на выпускной фольге за счет отражения и
поглощения электронов (более 12 %); потери на опорной решетке, обусловлены
расширением поперечного сечения элементарных электронных пучков в
ускоряющем промежутке и затеканием плазмы маски при неплотном ее
прилегании к сетке (7 %); потери счет ионного тока менее 1 % (при плотности
тока 0,1 А/см2 и при давлении газа 0,04 Ра, диаметры отверстий маски и решетки
8 и 15 мм, длина ускоряющего промежутка 12 см). При точной юстировке
отверстий в маске эмиссионной структуры и опорной решетке уменьшить потери
тока пучка на опорной решетке выпускного фольгового окна можно за счет
снижения краевых эффектов отверстий маски.

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Помогаем с подготовкой сопроводительных документов

    Совместно разработаем индивидуальный план и выберем тему работы Подробнее
    Помощь в подготовке к кандидатскому экзамену и допуске к нему Подробнее
    Поможем в написании научных статей для публикации в журналах ВАК Подробнее
    Структурируем работу и напишем автореферат Подробнее

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Сергей Н.
    4.8 (40 отзывов)
    Практический стаж работы в финансово - банковской сфере составил более 30 лет. За последние 13 лет, мной написано 7 диссертаций и более 450 дипломных работ и научных с... Читать все
    Практический стаж работы в финансово - банковской сфере составил более 30 лет. За последние 13 лет, мной написано 7 диссертаций и более 450 дипломных работ и научных статей в области экономики.
    #Кандидатские #Магистерские
    56 Выполненных работ
    Алёна В. ВГПУ 2013, исторический, преподаватель
    4.2 (5 отзывов)
    Пишу дипломы, курсовые, диссертации по праву, а также истории и педагогике. Закончила исторический факультет ВГПУ. Имею высшее историческое и дополнительное юридическо... Читать все
    Пишу дипломы, курсовые, диссертации по праву, а также истории и педагогике. Закончила исторический факультет ВГПУ. Имею высшее историческое и дополнительное юридическое образование. В данный момент работаю преподавателем.
    #Кандидатские #Магистерские
    25 Выполненных работ
    Олег Н. Томский политехнический университет 2000, Инженерно-эконо...
    4.7 (96 отзывов)
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Явл... Читать все
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Являюсь действующим преподавателем одного из ВУЗов.
    #Кандидатские #Магистерские
    177 Выполненных работ
    Екатерина Б. кандидат наук, доцент
    5 (174 отзыва)
    После окончания института работала экономистом в системе государственных финансов. С 1988 года на преподавательской работе. Защитила кандидатскую диссертацию. Преподав... Читать все
    После окончания института работала экономистом в системе государственных финансов. С 1988 года на преподавательской работе. Защитила кандидатскую диссертацию. Преподавала учебные дисциплины: Бюджетная система Украины, Статистика.
    #Кандидатские #Магистерские
    300 Выполненных работ
    Елена С. Таганрогский институт управления и экономики Таганрогский...
    4.4 (93 отзыва)
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на напис... Читать все
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на написании курсовых и дипломных работ, а также диссертационных исследований.
    #Кандидатские #Магистерские
    158 Выполненных работ
    Анна Александровна Б. Воронежский государственный университет инженерных технол...
    4.8 (30 отзывов)
    Окончила магистратуру Воронежского государственного университета в 2009 г. В 2014 г. защитила кандидатскую диссертацию. С 2010 г. преподаю в Воронежском государственно... Читать все
    Окончила магистратуру Воронежского государственного университета в 2009 г. В 2014 г. защитила кандидатскую диссертацию. С 2010 г. преподаю в Воронежском государственном университете инженерных технологий.
    #Кандидатские #Магистерские
    66 Выполненных работ
    Татьяна Б.
    4.6 (92 отзыва)
    Добрый день, работаю в сфере написания студенческих работ более 7 лет. Всегда довожу своих студентов до защиты с хорошими и отличными баллами (дипломы, магистерские ди... Читать все
    Добрый день, работаю в сфере написания студенческих работ более 7 лет. Всегда довожу своих студентов до защиты с хорошими и отличными баллами (дипломы, магистерские диссертации, курсовые работы средний балл - 4,5). Всегда на связи!
    #Кандидатские #Магистерские
    138 Выполненных работ
    Александра С.
    5 (91 отзыв)
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повы... Читать все
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повышении уникальности текста и оформлении библиографических ссылок по ГОСТу.
    #Кандидатские #Магистерские
    132 Выполненных работы
    Евгения Р.
    5 (188 отзывов)
    Мой опыт в написании работ - 9 лет. Я специализируюсь на написании курсовых работ, ВКР и магистерских диссертаций, также пишу научные статьи, провожу исследования и со... Читать все
    Мой опыт в написании работ - 9 лет. Я специализируюсь на написании курсовых работ, ВКР и магистерских диссертаций, также пишу научные статьи, провожу исследования и создаю красивые презентации. Сопровождаю работы до сдачи, на связи 24/7 ?
    #Кандидатские #Магистерские
    359 Выполненных работ

    Другие учебные работы по предмету