Модификация изделий из Mn-Zn ферритов в слабоокислительной среде с помощью плазменного источника низкоэнергетических электронов
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА1. МЕТОДЫ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОНЦЕНТРИРОВАННЫХ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ ПУЧКОВ
1.1 Методы модификации поверхности ферритов
1.2 Электронно-лучевая модификация
1.3 Лазерная модификация материалов и изделий
1.4 Структура и свойства ферритов
1.5 Выводы по главе и постановка задач исследований
ГЛАВА 2. ОБЪЕКТ И МЕТОДЫ АНАЛИЗА И ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Объект исследования
2.2 Установка для электронно-лучевой обработки ферритов
2.3 Лазерная обработка ферритов
2.4 Методы анализа и исследования ферритов
2.5 Выводы по главе
3.1 Анализ тепловых процессов при электронно-лучевом воздействии на Mn-Zn ферриты
3.2 Структура Mn-Zn ферритов при электронно-лучевом воздействии
3.3 Структура Mn-Zn ферритов при лазерном воздействии
3.4 Выводы по главе
ГЛАВА 4. СВОЙСТВА Mn-Zn ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ И ЛАЗЕРНОМ ВОЗДЕЙСТВИИ
4.1 Электрофизические свойства Mn-Zn ферритов, модифицированных потоком низкоэнергетических электронов
4.2 Выводы по главе
ГЛАВА 5. ГРАДИЕНТНЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ФЕРРИТОВ ДЛЯ УСТРОЙСТВ ЗАЩИТЫ ОТ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
5.1 Градиентные структуры на основе Mn-Zn ферритов
3
5.2 Градиентные структуры на основе Ni-Zn ферритов
5.3 Выводы по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
ПРИЛОЖЕНИЕ А (ОБЯЗАТЕЛЬНОЕ) АКТ ВНЕДРЕНИЯ
ПРИЛОЖЕНИЕ Б (СПРАВОЧНОЕ) СВИДЕТЕЛЬСТВА О ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ ПРОГРАММ ДЛЯ ЭВМ
Во введении обоснована актуальность темы, сформулирована цель и
задачи исследования, показана научная новизна и практическая значимость
работы.
В первой главе описаны методы модификации материалов и изделий
с использованием концентрированных энергетических пучков. Рассмотрены
структуры и свойства ферритовых изделий.
Вторая глава посвящена методам и технике проведения
исследований. Представлено экспериментальное и диагностическое
оборудование, а также методы исследования и анализа свойств и измерения
параметров ферритовых изделий.
Вкачествеобъектаисследованиябыливыбраны
поликристаллические Mn-Zn ферриты марки HM2000, имеющие химический
состав MnxZn1-xFe2O3. Образцы изготовлены в виде ферритовых чашечек P и
применяютсявкачестве:высокочастотныхтермостабильных
индуктивностей для резонансных цепей; широкополосных сигнальных
трансформаторов с высоким значением одновитковой индуктивности.
Исследуемые в работе Mn-Zn ферриты имеют следующий типоразмер
Px18x11. На рисунке 1 представлен внешний вид исследуемых образцов (а) и
фотография микроструктуры поверхности Mn-Zn феррита (б).
Исходная микроструктура поверхности Mn-Zn феррита с размером
зерна 2–8 мкм. Поверхность характеризуется достаточно большой
концентрацией поверхностных дефектов: межзеренные границы и поры.
Данная морфология поверхности оказывает отрицательное влияние на
электрофизические и технологические параметры и характеристики Mn-Zn
ферритов.
аб
Рисунок 1 – Внешний вид исследуемых образцов (а) и микроструктура
поверхности Mn-Zn феррита (б)
Для обработки поверхности образцов использована электронно-
лучевая установка, схема которой представлена на рисунке 2. Для генерации
электронного пучка применяется форвакуумный плазменный электронный
источник 1, позволяющий формировать электронный пучок диаметром менее
1 мм и с плотностью мощности до 105 Вт/см2. В качестве источника
электронов использовалась плазма тлеющего разряда с полым катодом.
Специальная конструкция ускоряющего промежутка электронного
источника позволяла формировать непрерывный электронный пучок с током
до 200 мА при давлениях в источнике и вакуумной камере 5–20 Па. Основная
особенность используемого источника заключается в возможности
непосредственной обработки низкопроводящих материалов, таких как
керамика, стекло, полимеры. Ионизация газовой среды вакуумной камеры 2
электронами пучка 3 приводит к образованию плотной пучковой плазмы,
которая служит нейтрализатором отрицательного заряда приносимого
электронами пучка на облучаемую поверхность 4. Снижение зарядки
поверхности позволяет эффективно осуществлять ее нагрев.
Id
Ud
IaUa
1 – плазменный источник электронов; 2 – вакуумная камера;
3 – электронный пучок; 4 – облучаемый образец; 5 – пирометр;
6 – компьютер.
Рисунок 2 – Схема экспериментальной установки по электронно-лучевому
облучению ферритов
Фокусировкапучкамагнитнымполем,создаваемым
короткофокусной катушкой, позволяет изменять плотность мощности пучка
в зоне обработки мишеней от 100 до 1000 Вт/см2, чего оказалось достаточно
для нагрева поверхности феррита до 1350 ºC. При обработке диаметр
электронного пучка устанавливался на несколько миллиметров больше
диаметра облучаемой ферритовой мишени, что позволяло более равномерно
осуществлять электронно-лучевое воздействие на всю площадь феррита.
Расстояние от электронного источника до образца составляло 25 см.
Контроль температуры поверхности образца осуществлялся с помощью
оптического пирометра RaytekMarathon 5, данные с которого отображались
на компьютере 6.
В третьей главе рассмотрены физико-химические процессы и
структура Mn-Zn ферритов при электронно-лучевом и лазерном воздействии.
Для анализа тепловых процессов при нагреве поверхности Mn-Zn
феррита низкоэнергетическим потоком электронов воспользуемся
уравнением теплопроводности (уравнение Фурье-Кирхгофа). Так как
исследуемые образцы имеют цилиндрическую форму, то при решении
уравнения воспользуемся цилиндрическими координатами (r, φ), примем, что
параметры материала не зависят от угла и температуры, тогда уравнение
можно записать в следующем виде
c T1 T T
=r + 2 + Ps ( r , y, t , T ) ,
tr r r y
где Ps(r, y, t, T) – мощность внутренних источников тепловыделения.
На рисунке 3 представлены результаты моделирования
температурного поля по поверхности (а) и в объеме (б) Mn-Zn феррита.
аб
Рисунок 3 – Распределение температуры по поверхности (а) и в
объеме (б) Mn-Zn феррита в зависимости от температуры электронно-
лучевой обработки:
1 – 900 ºC; 2 – 1000 ºC; 3 – 1100 ºC; 4 – 1200 ºC
Градиент температур при электронно-лучевой обработке по
поверхности варьируется в диапазоне от 200…265 ºC·см-1, а в объеме – от
430…650 ºC·см-1. Причем, с увеличением температуры обработки градиент
температур увеличивается и по поверхности, и в объеме.
Обработка поверхности Mn-Zn ферритов осуществлялась пучком
низкоэнергетических электронов с энергией от 4 до 7 кэВ. В таблице 1
представлены экспериментальные данные по электронно-лучевой обработке
(ток эмиссии Ie, ускоряющее напряжение U, удельная мощность Ps и
температура поверхности T).
Таблица 1 – Режимы электронно-лучевой обработки
РежимIe, мАU, кВPs, Вт·см-2T, ºC
12004113900
220051401000
320061701100
420071981200
Для уменьшения термических напряжений в феррите процесс
обработки производился по оптимизированному режиму: малая скорость
нагрева, а затем при достижении заданной температуры на поверхности –
выдержка в течение 10 минут. Типичные временные зависимости
температуры на поверхности (а) и удельной мощности (б) представлены на
рисунке 4.
аб
Рисунок 4 – Зависимость температуры на поверхности (а) и удельной
мощности (б) от времени при электронно-лучевой обработке:
1 – 900 ºC; 2 – 1000 ºC; 3 – 1100 ºC; 4 – 1200 ºC
На рисунке 5 представлены микрофотографии поверхности Mn-Zn
ферритов после электронно-лучевого воздействия.
Как следует из микрофотографий, с увеличением температуры
обработки уменьшается концентрация поверхностных дефектов и
увеличивается размер зерна от 2–8 мкм до 80–120 мкм.
аб
вг
Рисунок 5 – Микроструктура поверхности Mn-Zn феррита до и после
электронно-лучевого воздействия: а – 900 ºC; б – 1000 ºC;
в – 1100 ºC; г – 1200 ºC
Увеличение размера зерна происходит за счет вторичной
собирательной рекристаллизации в приповерхностном слое толщиной 100–
150 мкм, которая характеризуется интенсивным ростом крупных кристаллов
за счет более мелких. Увеличение размеров зерен приводит к уменьшению
площади межзеренных границ, в результате чего наблюдается сглаживание
рельефа обработанной поверхности и существенное уменьшение
шероховатости. Так как взаимодействие низкоэнергетических электронов с
ферритом носит преимущественно тепловой характер, то следует ожидать
изменение химического состава приповерхностного слоя, связанного с
процессами диффузии и испарения.
В таблице 2 представлено распределение химических элементов
исходного образца Mn-Zn феррита и после электронно-лучевой обработки. В
результате электронно-лучевой обработки образца наблюдается уменьшение
концентрации цинка в приповерхностном слое Mn-Zn феррита. Этот процесс
обусловлен восстановлением цинка двухвалентным Fe2+ в атомы и
последующего испарения. Одновременно происходит уменьшение
концентрации кислорода как за счет разложения оксида цинка, так и за счет
химической реакции 6 Fe2O3⎯→
T
4 Fe3O4 + O2 . Изменение химического
состава феррита должно приводить и к изменению фазового состава.
Таблица 2 – Распределение химических элементов в Mn-Zn феррите до и
после электронно-лучевого воздействия
Содержание в Mn-Zn феррите, ат. %
Элемент
T=25 ºCT=900 ºCT=1000 ºCT=1100 ºCT=1200 ºC
Fe53,2156,7558,1364,0365,12
Mn15,3916,1217,2719,8519,98
Zn6,334,533,140,000,00
O25,0722,6021,4616,1214,90
В таблице 3 представлены данные рентгенофазного анализа
исследуемых Mn-Zn ферритов. Процесс рекристаллизации и увеличение
размеров зерен приводит к увеличению областей когерентного рассеяния,
размер которых увеличивается от 79 до 180 нм. Увеличение постоянной
кристаллической решетки связано с тем, что радиус атома Zn больше, чем
радиус атома Mn, следовательно, расстояние между атомами при замещении
цинка марганцем увеличивается.
Таблица 3 – Данные рентгенофазного анализа Mn-Zn ферритов
ТемператураКристаллическаяПостояннаяОбласть когерентного
обработки, ºCструктурарешетки, Åрассеяния, нм
25кубическая8,473479
900кубическая8,4806148
1000кубическая8,4808162
1100кубическая8,4819171
1200кубическая8,4825180
Исследование ИК-спектров отражения Mn-Zn ферритов показано на
рисунке 6.
Рисунок 6 – ИК-спектры отражения Mn-Zn ферритов до обработки – 1;
после электронно-лучевой обработки при температуре поверхности: 2 – 900
ºC; 3 – 1000 ºC; 4 – 1100 ºC; 5 – 1200 ºC
В ИК-спектрах феррита при потере цинка и кислорода может
происходитьрасщеплениеитрансформация формылиний
характеристических колебаний связи Fe-O. На основе ИК-спектров можно
выдвинуть предположение о том, что размытие полосы при 560 см-1 при
электронной обработке при температуре 1200 ºС свидетельствует о
деферритизации приповерхностного слоя материала и возможном
увеличении в нем Fe2O3, а также свидетельствует об уменьшении
концентрации цинка (780 см-1) и кислорода.
В четвертой главе представлены результаты исследований
электрофизических свойств Mn-Zn ферритов. На рисунке 7 представлена
зависимость электропроводности ферритового изделия марки HM2000 (а) и
марок НМ700 и 1000НМ3 (б).
аб
Рисунок 7 – Зависимость электропроводности от температуры обработки для
марок HM2000 (а) и б: 1 – HM700; 2 – 1000HM3
Электронно-лучевая обработка поверхности Mn-Zn ферритов
приводит к увеличению электропроводности приповерхностных слоев не
менее, чем в 200. Это связано с восстановление трехвалентных катионов
железа до двухвалентных и частичной потери цинка.
Исследования температурной зависимости электропроводности в
координатах lnσ=f(1/T) (а) и термо-ЭДС (б) показали, что Mn-Zn ферриты
обладают полупроводниковыми свойствами n-типа проводимости
(рисунок 8).б
а
Рисунок 8 – Температурная зависимость электропроводности в координатах
lnσ=f(1/T) (а) и термо-ЭДС (б): 1 – исходный; 2 – 900 ºC; 3 – 1000 ºC; 4 –
1100 ºC; 5 – 1200 ºC
На температурной зависимости электропроводности в координатах
lnσ=f(1/T) отсутствуют изломы, что свидетельствует об едином механизме
электропроводности в диапазоне от 298 К до 503 К. В таблице 4 приведены
измерения магнитной проницаемости Mn-Zn ферритов.
Таблица 4 – Значения магнитной проницаемости в зависимости от
температуры обработки Mn-Zn ферритов
Температура обработки, ºC25900100011001200
f=1 кГц2112197019241051572
Магнитная
f=10 кГц197818781809947503
проницаемость
f=100 кГц182018121725851424
Ухудшение магнитных свойств связано с испарением цинка с
приповерхностного слоя Mn-Zn феррита.
Пятая глава посвящена созданию градиентных структур на основе
ферритов для защиты от электромагнитного излучения. Исследования
показали, что коэффициент отражения данных структур уменьшается
(рисунок 9).
аб
Рисунок 9 – Зависимость коэффициента отражения от частоты для Mn-Zn
феррита (а) и Ni-Zn (б): 1 – исходный образец; 2 – структура
Коэффициентотражения образцасосформированным
поверхностным слоем с повышенной электропроводностью на 30–35% ниже,
чем у исходного образца.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
1. Установлено, что обработка поверхности ферритовых изделий
потоком низкоэнергетических электронов приводит к изменению
микроструктуры и химического состава. В частности, с увеличением
температуры обработки увеличивается средний размер зерна с 5 мкм до 120
мкм,обусловленныйпроцессамивторичнойсобирательной
рекристаллизацией.
2. Показано, что при обработке поверхности ферритовых изделий
низкоэнергетическимиэлектронамипроисходитувеличение
электропроводности приповерхностных слоев не менее, чем в 200 раз, это
связано с восстановлением Fe3+ до Fe2+ и частичной потерей цинка.
3.Сравненияметодовобработкиферритовыхизделий
низкоэнергетическими электронами и лазерным ИК излучением с длиной
волны 10,6 мкм показали, что оба метода носят преимущественно тепловой
характер, а протекающие в изделиях при этом физико-химические процессы
идентичны.
4. При электронной обработке в изделиях создается градиентная
структура, характеризующая нелинейным переходом от материала с высокой
магнитной проницаемостью и высоким удельным сопротивлением к
материалуснизкоймагнитнойпроницаемостьюивысокой
электропроводностью, обладающая пониженным коэффициентом отражения
СВЧ излучения.
5. Разработанный метод модификации и полученные результаты
найдут применение в технологии ферритовых изделий, для уплотнения и
уменьшения шероховатости их поверхности.
6. Созданные градиентные структуры на ферритовых изделиях
позволяют их использовать в качестве элементов высокопоглощающих ВЧ и
СВЧ энергию, для безэховых камер и защитных устройств.
Актуальность темы исследования
Марганец-цинковые ферриты (Mn-Zn ферриты) находят применение не только в электро- и радиотехнике, но и во многих других областях науки и техники. Диапазон их применения постоянно расширяется. Особое внимание ферритам уделяется в медицине и экологии, в частности как устройствам, обеспечивающим защиту от электромагнитного излучения приемо-передающей и диагностической аппаратуры. Из множества защитных материалов Mn-Zn ферриты-шпинели по совокупности электрических, магнитных и эксплуатационных свойств наиболее полно удовлетворяют предъявляемым требованиям к радиопоглощающим материалам, не менее важным является и экономический аспект их применения. Кроме того, керамическая технология производства ферритовых изделий позволяет получать защитные устройства практически любой формы и размеров.
Для повышения эффективности устройств ферритовым материалам необходимо придавать новые свойства путем создания градиентных или текстурированых структур, например, «немагнитный проводник-феррит».
Ферритовые изделия с градиентной структурой могут быть получены при обработке их поверхности с помощью низкоэнергетического электронного пучка, генерируемого источником электронов с плазменным катодом в слабоокислительной среде. Технологии и методики воздействия электронных пучков на поверхность Mn-Zn ферритов мало изучены. В связи с этим разработка методики модификации поверхности Mn-Zn ферритов с целью улучшения их свойств является актуальной.
Цель работы
Разработка методики модификации изделий из Mn-Zn ферритов с помощью плазменного источника электронов для создания высокопоглощающих ВЧ и СВЧ энергию элементов. Для достижения заданной цели поставлены следующие задачи:
1) исследование тепловых процессов воздействия низкоэнергетических электронов на поверхность изделий из Mn-Zn ферритов;
2) выбор и теоретическое обоснование режимов работы плазменного источника электронов с целью модификации поверхности изделий из Mn-Zn ферритов;
3) исследование структуры и электрофизических характеристик изделий из Mn-Zn ферритов;
4) создание градиентных СВЧ поглощающих структур.
Научная новизна
1. Предложена методика модификации поверхности изделий из марганец- цинковых ферритов в слабоокислительной среде низкоэнергетическими электронами с энергиями до 7 кэВ.
2. Установлено, что электронно-лучевое воздействие носит тепловой характер и характеризуется следующими процессами: вторичная собирательная рекристаллизация, изменение катионного распределение в кристаллической решетке и потерей цинка в тонком слое.
3. Установлено, что все процессы протекают в тонком слое толщиной 150 мкм и приводят к увеличению электропроводности в 200–300 раз за счет восстановление железа с Fe3+ до Fe2+.
4. Показано, что создание градиентной структуры «немагнитный проводник – феррит» позволяет управлять процессами поглощения и отражения электромагнитного излучения.
Научные положения, выносимые на защиту
1. При обработке изделий из Mn-Zn ферритов электронами с энергией 4 – 7 кэВ и плотностью мощности 113 – 198 Вт/см2, в приповерхностном слое толщиной 50 – 100 мкм наблюдается уплотнение структуры, связанное с ростом зерен и уменьшением пористости, обусловленное процессами вторичной собирательной перекристаллизацией.
2. При электронной обработке пучками ферритовых изделий в слабоокислительной среде наблюдается увеличение электропроводности приповерхностного слоя не менее чем в 200 раз, связанное как с изменением валентности ионов железа с III до II, так и с увеличением концентрации кислородных вакансий и частичной потерей цинка.
3. При электронной обработке пучками с энергией 4 – 7 кэВ и плотностью мощности 113 – 198 Вт/см2 в изделиях из Mn-Zn ферритов создается градиентная структура, характеризующаяся нелинейным переходом от материала с высокой магнитной проницаемостью и высоким удельным сопротивлением к материалу с низкой магнитной проницаемостью и высокой электропроводностью, что обеспечивает получение высокоэффективные поглощающие ВЧ и СВЧ энергию элементы.
4. Путем сравнения методов обработки ферритовых изделий низкоэнергетическими электронами и лазерным ИК-излучением с длиной волны 10,6 мкм, показано, что оба метода носят преимущественно тепловой характер, а физико-химические процессы, протекающие в изделиях, идентичны.
Достоверность научных результатов
Степень достоверности научных результатов, подтверждается: применением современных методов научных исследований; большим объемом экспериментальных данных, полученных с помощью современного аналитического оборудования; хорошим согласованием расчетных и экспериментальных данных; верификацией экспериментальных данных на основе сравнения с результатами, полученных с применением общепринятых методов. Практическая значимость
Практическая значимость результатов диссертационной работы подтверждается использованием их при выполнении следующего научного проекта:
научный проект «Теоретические и экспериментальные исследования сверхширокополосных оптоэлектронных устройств волоконно-оптических систем передачи информации и радиофотоники на основе фотонных интегральных схем собственной разработки», выполняемый коллективом научной лаборатории «Лаборатория интегральной оптики и радиофотоники» при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ.
Материалы диссертационной работы используются в учебном процессе на факультете электронной техники ТУСУРа при чтении курса лекций и проведении лабораторных работ по дисциплине «Физика конденсированного состояния» для подготовки бакалавров по направлениям 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Также материалы диссертации используются при прохождении студентами производственных практик: практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональной деятельности и преддипломная практика.
Апробация работы
Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях: Международная конференция с элементами научной школы для молодежи «Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении», Томск, НИ Томский политехнический университет, 9–11 ноября 2015 г.; Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2016», Томск, ТУСУР, 25–27 мая 2016 г.; XIII Международная научно- практическая конференция «Электронные средства и системы управления», Томск, ТУСУР, 29 ноября – 01 декабря 2017 г.; Международная научно- техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, посвященной 55-летию ТУСУРа «Научная сессия ТУСУР–2017», Томск, ТУСУР, 10–12 мая 2017 г.; VII-ая Международная конференция «Фотоника и информационная оптика», Москва, НИЯУ МИФИ, 24–26 января 2018 г.; Двадцать четвертая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых «ВНКСФ–24», Томск, Ассоциация студентов-физиков и молодых учёных России – НИ ТГУ – НИ ТПУ – ТГПУ – Томский научный центр СО РАН – Институт электрофизики УрО РАН – ТУСУР, 31 марта – 7 апреля 2018 г.; VII-ая Международная молодежная научная школа-конференция «Современные проблемы физики и технологий», Москва, НИЯУ МИФИ, 16-21 апреля 2018 г.; Международная научная студенческая конференция «МНСК– 2018», Новосибирск, НГУ, 22–27 апреля 2018 г.; XV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Перспективы развития фундаментальных наук», Томск, НИ ТПУ – НИ ТГУ – ТГАСУ – ТУСУР – Томский национальный исследовательский медицинский центр Российской академии наук, 24–27 апреля 2018 г.; Всероссийская научно-практическая конференция «Прикладные исследования в области физике», Иркутск, ИРНИТУ, 4 декабря 2019 г.; XIV Всероссийская научная конференция молодых учёных «Наука. Технологии. Инновации», Новосибирск, НГТУ, 30 ноября – 04 декабря 2020 г.
Публикации
По материалам диссертации опубликовано 20 научных работ, в том числе 3 статьи в журналах, рекомендованных ВАК, 1 статья в журнале индексируемом WoS (Q2), 11 статей в сборниках Всероссийских и международных конференций, 5 свидетельств о регистрации программ для ЭВМ.
Личный вклад автора
Все результаты, представленные в диссертационной работе, получены лично автором, либо при его непосредственном участии. Личный вклад автора диссертационной работы состоит в определении цели и направлений научных исследований, в подготовке экспериментального оборудования, в проведении и участии в экспериментах, в обработке и анализе полученных данных. Формулировка основных положений и выводов проводилась совместно с научным руководителем д-ром техн. наук, профессором С.В. Смирновым. В проведении ряда экспериментов активное участие принимал д-р техн. наук А.С. Климов. Соавторы, принимавшие участие в отдельных направлениях исследований, указаны в списке основных публикаций по теме диссертации.
Структура и объем диссертации
Диссертация содержит введение, 5 глав, заключение, список использованных источников, включая список публикаций по теме диссертации, приложения. Работа изложена на 134 страницах машинописного текста, содержит 63 рисунка, 31 таблицу. Список использованных источников включает 134 наименования.
Читать «Модификация изделий из Mn-Zn ферритов в слабоокислительной среде с помощью плазменного источника низкоэнергетических электронов»
Публикации автора в научных журналах
Помогаем с подготовкой сопроводительных документов
Хочешь уникальную работу?
Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!
5 (154 отзыва)
4.8 (373 отзыва)
4.6 (30 отзывов)
5 (145 отзывов)
4.8 (17 отзывов)
5 (18 отзывов)
4.5 (80 отзывов)
4.4 (59 отзывов)
5 (18 отзывов)
