Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода

Гречкина, Анастасия Михайловна Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Получение данных о влиянии Uсм на структурные и функциональные свойства подложек с a-C:H покрытием, полученных с помощью метода плазмохимического осаждения из газовой фазы, в смеси Ar/C2H2 с приложением к подложке отрицательного напряжения смещения в диапазоне от 50-100 В.

Введение ………………………………………………………………………………………………….. 15

Раздел 1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР ……………………………………………………………. 17

1.1 Алмазоподобные покрытия. Общее представление о плёнках ………………. 17

1.2. Особенности структуры, свойств и применение …………………………………. 18

1.3 Процессы осаждения DLC и их особенности ………………………………………. 23

1.3.1 Первые плёнки …………………………………………………………………………….. 23

1.3.2 Распыление …………………………………………………………………………………. 24

1.3.3 Катодная дуга ……………………………………………………………………………… 25

1.3.4 Импульсное лазерное напыление ………………………………………………….. 26

1.3.5 CVD ……………………………………………………………………………………………. 27

1.3.5.1 Метод высокочастотного разряда в плазме CVD …………………………. 29

1.3.5.2 Метод плазменного CVD PIG …………………………………………………….. 29

1.3.5.3 CVD-композитный метод ………………………………………………………….. 30

1.3.6 PVD ……………………………………………………………………………………………. 30

1.3.6.1 Метод дугового PVD …………………………………………………………………. 31

1.3.6.2 Метод PVD с фильтрованной дугой ……………………………………………. 32

1.3.7 PECVD ……………………………………………………………………………………….. 33

1.3.7.1 PECVD процессы с ассистированным источником ICP ………………… 35

1.4 Факторы, влияющие на механические и трибологические характеристики
DLC-покрытий ………………………………………………………………………………………. 35

1.4.1 Шероховатость пленки ………………………………………………………………… 36

1.4.2 Прослои ………………………………………………………………………………………. 37

Раздел 2 ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ И
МЕТОДИК ИССЛЕДОВАНИЯ ………………………………………………………………….. 39
2.1 Установка плазмохимического осаждения алмазоподобных покрытий a-
C:H ……………………………………………………………………………………………………….. 39

2.2 Радиочастотный генератор плазмы РПГ-128 и автоматическое
согласующее устройство СУРА ………………………………………………………………. 41

2.3 Измерение твердости покрытий …………………………………………………………. 42

2.4 Измерение модуля упругости покрытий ……………………………………………… 44

2.5 Измерение коэффициента трения ……………………………………………………….. 45

Раздел 3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ ……………………………………………….. 48

3.1 Осаждение a-C:H покрытий ……………………………………………………………….. 48

3.2 Изучение фазового состава с использованием спектроскопии
комбинационного рассеяния …………………………………………………………………… 50

3.3 Измерение твёрдости и модуля упругости покрытий …………………………… 55

3.4 Испытание царапанием. Исследование адгезии …………………………………… 56

3.5 Трибологические измерения ………………………………………………………………. 58

Заключение ………………………………………………………………………………………………. 60

Глава 4. ФИНАНСОВЫЙ МЕНЕДЖМЕНТ, РЕСУРСОЭФФЕКТИВНОСТЬ И
РЕСУРСОСБЕРЕЖЕНИЕ ………………………………………………………………………….. 62

4.1 Предпроектный анализ ……………………………………………………………………… 63

4.1.1 Потенциальные потребители результатов исследования …………………. 63

4.1.2 Анализ конкурентных технический решений…………………………………. 63

4.1.3 SWOT-анализ ………………………………………………………………………………. 66

4.1.4 Планирование научно-исследовательских работ. Структура работ в
рамках научного исследования …………………………………………………………….. 70

4.2 Расчеты ……………………………………………………………………………………………. 71

4.2.1 Расчет трудовых затрат на проектирование …………………………………… 71

4.2.2 Построение графика проведения технического проекта …………………. 73
4.3 Бюджет технического проекта……………………………………………………………. 76

4.3.1 Материальные затраты …………………………………………………………………. 76

4.3.2 Сырье, материалы, покупные изделия и полуфабрикаты ………………… 77

4.3.3 Специальное оборудование для научных работ ……………………………… 79

4.3.4 Расчёт амортизационных отчислений ……………………………………………. 79

4.3.5 Заработная плата исполнителей ……………………………………………………. 80

4.3.6 Дополнительная заработная плата исполнителей темы …………………… 81

4.3.7 Отчисления во внебюджетные фонды …………………………………………… 82

4.3.8 Накладные расходы ……………………………………………………………………… 82

4.3.9 Формирование бюджета затрат …………………………………………………….. 83

4.4 Реестр рисков проекта ……………………………………………………………………….. 83

Раздел 5 СОЦИАЛЬНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ ………………………………………… 88

5.1 Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности ………. 88

5.1.1 Организационные мероприятия при компоновке рабочей зоны ……… 89

5.2 Анализ опасных и вредных производственных факторов ……………………. 92

5.2.1 Повышенный уровень шума …………………………………………………………. 93

5.2.2 Отсутствие естественного света ……………………………………………………. 93

5.2.3 Расчёт искусственной освещенности …………………………………………….. 94

5.2.4 Повышенное значение напряжения в электрической цепи ……………… 96

5.2.5 Отклонение показателей микроклимата в помещении ……………………. 98

5.2.6 Фактор, обладающий свойствами химического воздействия на
организм …………………………………………………………………………………………….. 99

5.2.7 Обоснование мероприятий по снижению уровней воздействия опасных
и вредных факторов …………………………………………………………………………… 101

5.3 Экологическая безопасность ……………………………………………………………. 102
5.3.1 Воздействие на атмосферу ………………………………………………………….. 102

5.3.2 Воздействие на гидросферу ………………………………………………………… 102

5.3.3 Воздействие на литосферу ………………………………………………………….. 102

5.4 Безопасность в чрезвычайных ситуациях ………………………………………….. 103

Список используемых источников ……………………………………………………………. 107

Приложение A ………………………………………………………………………………………… 111

В последнее время, плёнки aлмaзоподобного углeродa (АПП) или в
иностранной литературе diamond-like carbon films (DLC) представляют
огромный интeрeс, благодаря уникальному сочетанию физических, химических
и механических свойств АПП находят широкое практическое применение. В
частности: в оптике, микроэлектронике, медицине и других областях, в качестве
многофункциональных, защитных и биофункциональных покрытий.
По мере развития новых направлений, такие как: экстремальная
электроника, наноэлектроника и физика наноструктур, появляются новые
методы получения алмазоподобных покрытий, а области возможных
применений этих материалов выходят за рамки традиционных. И их
нанокластерная структура стала объектом интенсивных исследований
фундаментального плана. Вот почему до сих пор сохраняется устойчивый и
повышенный интерес к этим материалам.
Свойства твёрдых покрытий на основе аморфного углерода напрямую
зависят от соотношения атомов углерода с 3- и 2- гибридизацией электронов
[1].
Метод осаждения и условия выращивания определяют количественное
содержания sp3 и sp2 связей в плёнке с использованием спектроскопии
комбинационного рассеяния, поскольку данный метод является неразрушающим
и быстрым для определения характеристик углеродных материалов.
Для видимого возбуждения спектры комбинационного рассеяния для
АПП показывают пик G (1560 см-1) и пик D (1360 см-1) [2]. Пик G обусловлен
растяжением связей всех пар атомов sp2 как в кольцах, так и в цепочках. Пик D
отображает степень структурного беспорядка (неупорядоченность) вблизи края
микрокристаллической структуры, который уменьшает симметричность
структуры.
Целью работы является получение данных о влиянии Uсм на структурные
и функциональные свойства подложек с a-C:H покрытием, полученных с
помощью метода плазмохимического осаждения из газовой фазы.
Задачами данной работы будет:
1. Отработка режимов получения пленок a-C:H, методом плазмохимического
осаждения из газовой фазы;
2. Изучение фазового состава с использованием спектроскопии
комбинационного рассеяния;
3. Изучение механических свойств полученных покрытий.
1.1 Алмазоподобные покрытия. Общее представление о плёнках

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Анастасия Л. аспирант
    5 (8 отзывов)
    Работаю в сфере метрологического обеспечения. Защищаю кандидатскую диссертацию. Основной профиль: Метрология, стандартизация и сертификация. Оптико-электронное прибост... Читать все
    Работаю в сфере метрологического обеспечения. Защищаю кандидатскую диссертацию. Основной профиль: Метрология, стандартизация и сертификация. Оптико-электронное прибостроение, управление качеством
    #Кандидатские #Магистерские
    10 Выполненных работ
    Вирсавия А. медицинский 1981, стоматологический, преподаватель, канди...
    4.5 (9 отзывов)
    руководитель успешно защищенных диссертаций, автор около 150 работ, в активе - оппонирование, рецензирование, написание и подготовка диссертационных работ; интересы - ... Читать все
    руководитель успешно защищенных диссертаций, автор около 150 работ, в активе - оппонирование, рецензирование, написание и подготовка диссертационных работ; интересы - медицина, биология, антропология, биогидродинамика
    #Кандидатские #Магистерские
    12 Выполненных работ
    Александра С.
    5 (91 отзыв)
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повы... Читать все
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повышении уникальности текста и оформлении библиографических ссылок по ГОСТу.
    #Кандидатские #Магистерские
    132 Выполненных работы
    Егор В. кандидат наук, доцент
    5 (428 отзывов)
    Здравствуйте. Занимаюсь выполнением работ более 14 лет. Очень большой опыт. Более 400 успешно защищенных дипломов и диссертаций. Берусь только со 100% уверенностью. Ск... Читать все
    Здравствуйте. Занимаюсь выполнением работ более 14 лет. Очень большой опыт. Более 400 успешно защищенных дипломов и диссертаций. Берусь только со 100% уверенностью. Скорее всего Ваш заказ будет выполнен раньше срока.
    #Кандидатские #Магистерские
    694 Выполненных работы
    user1250010 Омский государственный университет, 2010, преподаватель,...
    4 (15 отзывов)
    Пишу качественные выпускные квалификационные работы и магистерские диссертации. Опыт написания работ - более восьми лет. Всегда на связи.
    Пишу качественные выпускные квалификационные работы и магистерские диссертации. Опыт написания работ - более восьми лет. Всегда на связи.
    #Кандидатские #Магистерские
    21 Выполненная работа
    Екатерина С. кандидат наук, доцент
    4.6 (522 отзыва)
    Практически всегда онлайн, доработки делаю бесплатно. Дипломные работы и Магистерские диссертации сопровождаю до защиты.
    Практически всегда онлайн, доработки делаю бесплатно. Дипломные работы и Магистерские диссертации сопровождаю до защиты.
    #Кандидатские #Магистерские
    1077 Выполненных работ
    Евгения Р.
    5 (188 отзывов)
    Мой опыт в написании работ - 9 лет. Я специализируюсь на написании курсовых работ, ВКР и магистерских диссертаций, также пишу научные статьи, провожу исследования и со... Читать все
    Мой опыт в написании работ - 9 лет. Я специализируюсь на написании курсовых работ, ВКР и магистерских диссертаций, также пишу научные статьи, провожу исследования и создаю красивые презентации. Сопровождаю работы до сдачи, на связи 24/7 ?
    #Кандидатские #Магистерские
    359 Выполненных работ
    Петр П. кандидат наук
    4.2 (25 отзывов)
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт напис... Читать все
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт написания магистерских диссертаций. Направление - связь, телекоммуникации, информационная безопасность, информационные технологии, экономика. Пишу научные статьи уровня ВАК и РИНЦ. Работаю техническим директором интернет-провайдера, имею опыт работы ведущим сотрудником отдела информационной безопасности филиала одного из крупнейших банков. Образование - высшее профессиональное (в 2006 году окончил военную Академию связи в г. Санкт-Петербурге), послевузовское профессиональное (в 2018 году окончил аспирантуру Уральского федерального университета). Защитил диссертацию на соискание степени "кандидат технических наук" в 2020 году. В качестве хобби преподаю. Дисциплины - сети ЭВМ и телекоммуникации, информационная безопасность объектов критической информационной инфраструктуры.
    #Кандидатские #Магистерские
    33 Выполненных работы
    Дмитрий К. преподаватель, кандидат наук
    5 (1241 отзыв)
    Окончил КазГУ с красным дипломом в 1985 г., после окончания работал в Институте Ядерной Физики, защитил кандидатскую диссертацию в 1991 г. Работы для студентов выполня... Читать все
    Окончил КазГУ с красным дипломом в 1985 г., после окончания работал в Институте Ядерной Физики, защитил кандидатскую диссертацию в 1991 г. Работы для студентов выполняю уже 30 лет.
    #Кандидатские #Магистерские
    2271 Выполненная работа

    Другие учебные работы по предмету

    Исследование структуры и свойств биоинертных сплавов системы Ti-Nb
    📅 2018год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
    Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий
    📅 2020год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)