Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий

Вересов, Александр Евгеньевич Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов.

Реферат 10
Введение 13
Глава 1. Литературный обзор 14
1.1 Воздействие плазмы на поверхность материала 14
1.2 Ионное распыление. 15
1.2.1. Характеристика распыленных частиц. 17
1.3. Формирование рельефа при распылении. 18
1.4. Кинетика химических реакций. 18
1.5. Плазма ВЧ разрядов, способы ее получения и применения 20
1.6. Характеристика ПХТ 25
Глава 2. Экспериментальная часть 27
2.1. Постановка целей и задач. 27
2.2. Реализация индукционного источника плазмы с импульсным напуском газа 28
2.3. Расчет основных параметров системы напуска газа 33
2.4. Диагностика источника плазмы 38
2.4.1. Измерение токов поясом Роговского 38
2.4.2. Измерение плазменного потока миниатюрной ячейкой Пеннинга 39
2.4.3. Измерение значения ионного тока 40
2.5. Результаты измерений 40
Заключение 45
Глава 3. Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение 46
3.1. Предпроектный анализ 46
3.1.1. Потенциальные потребители результатов исследования 46
3.1.2. Анализ конкурентных технических решений с позиции ресурсоэффективности и
ресурсосбережения 47
3.3. SWOT-анализ 50
3.4. Инициация проекта 52
3.4.1. Организационная структура проекта 53
3.4.2. Ограничения и допущения проекта. 55
3.5. План проекта 55
3.6. Разработка графика проведения НИОКР 56
3.7. Бюджет научно-технического исследования (НТИ) 58
3.8. Основная заработная плата исполнителей темы 59
3.9. Отчисления во внебюджетные фонды 61
3.10. Накладные расходы 62
3.11. Формирование бюджета затрат научно-исследовательского проекта 63
3.12. Реестр рисков 64
3.13. Определение ресурсной, финансовой, бюджетной, социальной и экономической
эффективности исследования 64
Глава4. Социальная ответственность 68
Введение 68
4.1. Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности 68
4.1.1. Специальные (характерные для рабочей зоны исследователя) правовые нормы трудового
законодательства 69
4.1.2. Организационные мероприятия при компоновке рабочей зоны исследователя 71
4.2. Профессиональная социальная безопасность 73
4.2.1. Обоснование мероприятий по защите исследователя от действия опасных и вредных
факторов 75
4.2.2 Электробезопасность 77
Вывод по разделу 81
Список использованных источников 82
Приложение А 85

Индукционный плазменный источник “В – типа” предназначен для
равномерной очистки материалов и изделий от загрязнений пучком
низкоэнергетических ионов. Данный источник основан на
индукционномпробое напускаемого газа.
В данной работе был разработан индукционный плазменный источник
для создания плазменных потоков различных газов для эффективной очистки
материалов и изделий. При проектировании такого источника были учтены
недостатки уже существующих источников: невысокая интенсивность
плазменного потока, т.к. накладывается ограничение на дальнейшее ускорение
(закон Чайлд – Ленгмюра) и недостаточная плотность плазмы, что вводит
ограничение на скорость обработки.
В ходе работы описана разработка эффективной системы подачи газа для
последующей ионизации. Параметры и геометрия такой системы просчитана
через газодинамические функции.
Выполнены необходимая диагностика такого источника. Измерены
значения плотности плазмы, плотности ионного тока, давления газового
потока, разрядные токи катушки и клапана. Для измерения:

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Олег Н. Томский политехнический университет 2000, Инженерно-эконо...
    4.7 (96 отзывов)
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Явл... Читать все
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Являюсь действующим преподавателем одного из ВУЗов.
    #Кандидатские #Магистерские
    177 Выполненных работ
    Мария М. УГНТУ 2017, ТФ, преподаватель
    5 (14 отзывов)
    Имею 3 высших образования в сфере Экологии и техносферной безопасности (бакалавриат, магистратура, аспирантура), работаю на кафедре экологии одного из опорных ВУЗов РФ... Читать все
    Имею 3 высших образования в сфере Экологии и техносферной безопасности (бакалавриат, магистратура, аспирантура), работаю на кафедре экологии одного из опорных ВУЗов РФ. Большой опыт в написании курсовых, дипломов, диссертаций.
    #Кандидатские #Магистерские
    27 Выполненных работ
    Кирилл Ч. ИНЖЭКОН 2010, экономика и управление на предприятии транс...
    4.9 (343 отзыва)
    Работы пишу, начиная с 2000 года. Огромный опыт и знания в области экономики. Закончил школу с золотой медалью. Два высших образования (техническое и экономическое). С... Читать все
    Работы пишу, начиная с 2000 года. Огромный опыт и знания в области экономики. Закончил школу с золотой медалью. Два высших образования (техническое и экономическое). Сейчас пишу диссертацию на соискание степени кандидата экономических наук.
    #Кандидатские #Магистерские
    692 Выполненных работы
    Шагали Е. УрГЭУ 2007, Экономика, преподаватель
    4.4 (59 отзывов)
    Серьезно отношусь к тренировке собственного интеллекта, поэтому постоянно учусь сама и с удовольствием пишу для других. За 15 лет работы выполнила более 600 дипломов и... Читать все
    Серьезно отношусь к тренировке собственного интеллекта, поэтому постоянно учусь сама и с удовольствием пишу для других. За 15 лет работы выполнила более 600 дипломов и диссертаций, Есть любимые темы - они дешевле обойдутся, ибо в радость)
    #Кандидатские #Магистерские
    76 Выполненных работ
    Рима С.
    5 (18 отзывов)
    Берусь за решение юридических задач, за написание серьезных научных статей, магистерских диссертаций и дипломных работ. Окончила Кемеровский государственный универси... Читать все
    Берусь за решение юридических задач, за написание серьезных научных статей, магистерских диссертаций и дипломных работ. Окончила Кемеровский государственный университет, являюсь бакалавром, магистром юриспруденции (с отличием)
    #Кандидатские #Магистерские
    38 Выполненных работ
    Антон П. преподаватель, доцент
    4.8 (1033 отзыва)
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публик... Читать все
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публикуюсь, имею высокий индекс цитирования. Спикер.
    #Кандидатские #Магистерские
    1386 Выполненных работ
    Ольга Б. кандидат наук, доцент
    4.8 (373 отзыва)
    Работаю на сайте четвертый год. Действующий преподаватель вуза. Основные направления: микробиология, биология и медицина. Написано несколько кандидатских, магистерских... Читать все
    Работаю на сайте четвертый год. Действующий преподаватель вуза. Основные направления: микробиология, биология и медицина. Написано несколько кандидатских, магистерских диссертаций, дипломных и курсовых работ. Слежу за новинками в медицине.
    #Кандидатские #Магистерские
    566 Выполненных работ
    Дарья П. кандидат наук, доцент
    4.9 (20 отзывов)
    Профессиональный журналист, филолог со стажем более 10 лет. Имею профильную диссертацию по специализации "Радиовещание". Подробно и серьезно разрабатываю темы научных... Читать все
    Профессиональный журналист, филолог со стажем более 10 лет. Имею профильную диссертацию по специализации "Радиовещание". Подробно и серьезно разрабатываю темы научных исследований, связанных с журналистикой, филологией и литературой
    #Кандидатские #Магистерские
    33 Выполненных работы
    Дмитрий Л. КНЭУ 2015, Экономики и управления, выпускник
    4.8 (2878 отзывов)
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    #Кандидатские #Магистерские
    5125 Выполненных работ

    Другие учебные работы по предмету

    Исследование структуры и свойств биоинертных сплавов системы Ti-Nb
    📅 2018год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
    Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий
    📅 2020год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)