Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий

Вересов, Александр Евгеньевич Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов.

Реферат 10
Введение 13
Глава 1. Литературный обзор 14
1.1 Воздействие плазмы на поверхность материала 14
1.2 Ионное распыление. 15
1.2.1. Характеристика распыленных частиц. 17
1.3. Формирование рельефа при распылении. 18
1.4. Кинетика химических реакций. 18
1.5. Плазма ВЧ разрядов, способы ее получения и применения 20
1.6. Характеристика ПХТ 25
Глава 2. Экспериментальная часть 27
2.1. Постановка целей и задач. 27
2.2. Реализация индукционного источника плазмы с импульсным напуском газа 28
2.3. Расчет основных параметров системы напуска газа 33
2.4. Диагностика источника плазмы 38
2.4.1. Измерение токов поясом Роговского 38
2.4.2. Измерение плазменного потока миниатюрной ячейкой Пеннинга 39
2.4.3. Измерение значения ионного тока 40
2.5. Результаты измерений 40
Заключение 45
Глава 3. Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение 46
3.1. Предпроектный анализ 46
3.1.1. Потенциальные потребители результатов исследования 46
3.1.2. Анализ конкурентных технических решений с позиции ресурсоэффективности и
ресурсосбережения 47
3.3. SWOT-анализ 50
3.4. Инициация проекта 52
3.4.1. Организационная структура проекта 53
3.4.2. Ограничения и допущения проекта. 55
3.5. План проекта 55
3.6. Разработка графика проведения НИОКР 56
3.7. Бюджет научно-технического исследования (НТИ) 58
3.8. Основная заработная плата исполнителей темы 59
3.9. Отчисления во внебюджетные фонды 61
3.10. Накладные расходы 62
3.11. Формирование бюджета затрат научно-исследовательского проекта 63
3.12. Реестр рисков 64
3.13. Определение ресурсной, финансовой, бюджетной, социальной и экономической
эффективности исследования 64
Глава4. Социальная ответственность 68
Введение 68
4.1. Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности 68
4.1.1. Специальные (характерные для рабочей зоны исследователя) правовые нормы трудового
законодательства 69
4.1.2. Организационные мероприятия при компоновке рабочей зоны исследователя 71
4.2. Профессиональная социальная безопасность 73
4.2.1. Обоснование мероприятий по защите исследователя от действия опасных и вредных
факторов 75
4.2.2 Электробезопасность 77
Вывод по разделу 81
Список использованных источников 82
Приложение А 85

Индукционный плазменный источник “В – типа” предназначен для
равномерной очистки материалов и изделий от загрязнений пучком
низкоэнергетических ионов. Данный источник основан на
индукционномпробое напускаемого газа.
В данной работе был разработан индукционный плазменный источник
для создания плазменных потоков различных газов для эффективной очистки
материалов и изделий. При проектировании такого источника были учтены
недостатки уже существующих источников: невысокая интенсивность
плазменного потока, т.к. накладывается ограничение на дальнейшее ускорение
(закон Чайлд – Ленгмюра) и недостаточная плотность плазмы, что вводит
ограничение на скорость обработки.
В ходе работы описана разработка эффективной системы подачи газа для
последующей ионизации. Параметры и геометрия такой системы просчитана
через газодинамические функции.
Выполнены необходимая диагностика такого источника. Измерены
значения плотности плазмы, плотности ионного тока, давления газового
потока, разрядные токи катушки и клапана. Для измерения:

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Елена С. Таганрогский институт управления и экономики Таганрогский...
    4.4 (93 отзыва)
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на напис... Читать все
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на написании курсовых и дипломных работ, а также диссертационных исследований.
    #Кандидатские #Магистерские
    158 Выполненных работ
    Александра С.
    5 (91 отзыв)
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повы... Читать все
    Красный диплом референта-аналитика информационных ресурсов, 8 лет преподавания. Опыт написания работ вплоть до докторских диссертаций. Отдельно специализируюсь на повышении уникальности текста и оформлении библиографических ссылок по ГОСТу.
    #Кандидатские #Магистерские
    132 Выполненных работы
    Екатерина П. студент
    5 (18 отзывов)
    Работы пишу исключительно сама на основании действующих нормативных правовых актов, монографий, канд. и докт. диссертаций, авторефератов, научных статей. Дополнительно... Читать все
    Работы пишу исключительно сама на основании действующих нормативных правовых актов, монографий, канд. и докт. диссертаций, авторефератов, научных статей. Дополнительно занимаюсь английским языком, уровень владения - Upper-Intermediate.
    #Кандидатские #Магистерские
    39 Выполненных работ
    Кормчий В.
    4.3 (248 отзывов)
    Специализация: диссертации; дипломные и курсовые работы; научные статьи.
    Специализация: диссертации; дипломные и курсовые работы; научные статьи.
    #Кандидатские #Магистерские
    335 Выполненных работ
    Евгений А. доктор, профессор
    5 (154 отзыва)
    Более 40 лет занимаюсь преподавательской деятельностью. Специалист в области философии, логики и социальной работы. Кандидатская диссертация - по логике, докторская - ... Читать все
    Более 40 лет занимаюсь преподавательской деятельностью. Специалист в области философии, логики и социальной работы. Кандидатская диссертация - по логике, докторская - по социальной работе.
    #Кандидатские #Магистерские
    260 Выполненных работ
    Олег Н. Томский политехнический университет 2000, Инженерно-эконо...
    4.7 (96 отзывов)
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Явл... Читать все
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Являюсь действующим преподавателем одного из ВУЗов.
    #Кандидатские #Магистерские
    177 Выполненных работ
    Анастасия Л. аспирант
    5 (8 отзывов)
    Работаю в сфере метрологического обеспечения. Защищаю кандидатскую диссертацию. Основной профиль: Метрология, стандартизация и сертификация. Оптико-электронное прибост... Читать все
    Работаю в сфере метрологического обеспечения. Защищаю кандидатскую диссертацию. Основной профиль: Метрология, стандартизация и сертификация. Оптико-электронное прибостроение, управление качеством
    #Кандидатские #Магистерские
    10 Выполненных работ
    Александр Р. ВоГТУ 2003, Экономический, преподаватель, кандидат наук
    4.5 (80 отзывов)
    Специальность "Государственное и муниципальное управление" Кандидатскую диссертацию защитил в 2006 г. Дополнительное образование: Оценка стоимости (бизнеса) и госфин... Читать все
    Специальность "Государственное и муниципальное управление" Кандидатскую диссертацию защитил в 2006 г. Дополнительное образование: Оценка стоимости (бизнеса) и госфинансы (Казначейство). Работаю в финансовой сфере более 10 лет. Банки,риски
    #Кандидатские #Магистерские
    123 Выполненных работы
    Татьяна П.
    4.2 (6 отзывов)
    Помогаю студентам с решением задач по ТОЭ и физике на протяжении 9 лет. Пишу диссертацию на соискание степени кандидата технических наук, имею опыт годовой стажировки ... Читать все
    Помогаю студентам с решением задач по ТОЭ и физике на протяжении 9 лет. Пишу диссертацию на соискание степени кандидата технических наук, имею опыт годовой стажировки в одном из крупнейших университетов Германии.
    #Кандидатские #Магистерские
    9 Выполненных работ

    Другие учебные работы по предмету

    Исследование структуры и свойств биоинертных сплавов системы Ti-Nb
    📅 2018год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
    Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий
    📅 2020год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)