Сильноточный индукционный плазменный источник для обработки поверхностей материалов и изделий

Вересов, Александр Евгеньевич Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Работа посвящена разработке источника плазмы с импульсным напуском газа. Такой источник способен обрабатывать поверхности больших площадей потоком плазмы с высокой интенсивностью и низкой энергией ионов.

Реферат 10
Введение 13
Глава 1. Литературный обзор 14
1.1 Воздействие плазмы на поверхность материала 14
1.2 Ионное распыление. 15
1.2.1. Характеристика распыленных частиц. 17
1.3. Формирование рельефа при распылении. 18
1.4. Кинетика химических реакций. 18
1.5. Плазма ВЧ разрядов, способы ее получения и применения 20
1.6. Характеристика ПХТ 25
Глава 2. Экспериментальная часть 27
2.1. Постановка целей и задач. 27
2.2. Реализация индукционного источника плазмы с импульсным напуском газа 28
2.3. Расчет основных параметров системы напуска газа 33
2.4. Диагностика источника плазмы 38
2.4.1. Измерение токов поясом Роговского 38
2.4.2. Измерение плазменного потока миниатюрной ячейкой Пеннинга 39
2.4.3. Измерение значения ионного тока 40
2.5. Результаты измерений 40
Заключение 45
Глава 3. Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение 46
3.1. Предпроектный анализ 46
3.1.1. Потенциальные потребители результатов исследования 46
3.1.2. Анализ конкурентных технических решений с позиции ресурсоэффективности и
ресурсосбережения 47
3.3. SWOT-анализ 50
3.4. Инициация проекта 52
3.4.1. Организационная структура проекта 53
3.4.2. Ограничения и допущения проекта. 55
3.5. План проекта 55
3.6. Разработка графика проведения НИОКР 56
3.7. Бюджет научно-технического исследования (НТИ) 58
3.8. Основная заработная плата исполнителей темы 59
3.9. Отчисления во внебюджетные фонды 61
3.10. Накладные расходы 62
3.11. Формирование бюджета затрат научно-исследовательского проекта 63
3.12. Реестр рисков 64
3.13. Определение ресурсной, финансовой, бюджетной, социальной и экономической
эффективности исследования 64
Глава4. Социальная ответственность 68
Введение 68
4.1. Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности 68
4.1.1. Специальные (характерные для рабочей зоны исследователя) правовые нормы трудового
законодательства 69
4.1.2. Организационные мероприятия при компоновке рабочей зоны исследователя 71
4.2. Профессиональная социальная безопасность 73
4.2.1. Обоснование мероприятий по защите исследователя от действия опасных и вредных
факторов 75
4.2.2 Электробезопасность 77
Вывод по разделу 81
Список использованных источников 82
Приложение А 85

Индукционный плазменный источник “В – типа” предназначен для
равномерной очистки материалов и изделий от загрязнений пучком
низкоэнергетических ионов. Данный источник основан на
индукционномпробое напускаемого газа.
В данной работе был разработан индукционный плазменный источник
для создания плазменных потоков различных газов для эффективной очистки
материалов и изделий. При проектировании такого источника были учтены
недостатки уже существующих источников: невысокая интенсивность
плазменного потока, т.к. накладывается ограничение на дальнейшее ускорение
(закон Чайлд – Ленгмюра) и недостаточная плотность плазмы, что вводит
ограничение на скорость обработки.
В ходе работы описана разработка эффективной системы подачи газа для
последующей ионизации. Параметры и геометрия такой системы просчитана
через газодинамические функции.
Выполнены необходимая диагностика такого источника. Измерены
значения плотности плазмы, плотности ионного тока, давления газового
потока, разрядные токи катушки и клапана. Для измерения:

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Татьяна П.
    4.2 (6 отзывов)
    Помогаю студентам с решением задач по ТОЭ и физике на протяжении 9 лет. Пишу диссертацию на соискание степени кандидата технических наук, имею опыт годовой стажировки ... Читать все
    Помогаю студентам с решением задач по ТОЭ и физике на протяжении 9 лет. Пишу диссертацию на соискание степени кандидата технических наук, имею опыт годовой стажировки в одном из крупнейших университетов Германии.
    #Кандидатские #Магистерские
    9 Выполненных работ
    Петр П. кандидат наук
    4.2 (25 отзывов)
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт напис... Читать все
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт написания магистерских диссертаций. Направление - связь, телекоммуникации, информационная безопасность, информационные технологии, экономика. Пишу научные статьи уровня ВАК и РИНЦ. Работаю техническим директором интернет-провайдера, имею опыт работы ведущим сотрудником отдела информационной безопасности филиала одного из крупнейших банков. Образование - высшее профессиональное (в 2006 году окончил военную Академию связи в г. Санкт-Петербурге), послевузовское профессиональное (в 2018 году окончил аспирантуру Уральского федерального университета). Защитил диссертацию на соискание степени "кандидат технических наук" в 2020 году. В качестве хобби преподаю. Дисциплины - сети ЭВМ и телекоммуникации, информационная безопасность объектов критической информационной инфраструктуры.
    #Кандидатские #Магистерские
    33 Выполненных работы
    Мария А. кандидат наук
    4.7 (18 отзывов)
    Мне нравится изучать все новое, постоянно развиваюсь. Могу написать и диссертацию и кандидатскую. Есть опыт в различных сфера деятельности (туризм, экономика, бухучет... Читать все
    Мне нравится изучать все новое, постоянно развиваюсь. Могу написать и диссертацию и кандидатскую. Есть опыт в различных сфера деятельности (туризм, экономика, бухучет, реклама, журналистика, педагогика, право)
    #Кандидатские #Магистерские
    39 Выполненных работ
    Антон П. преподаватель, доцент
    4.8 (1033 отзыва)
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публик... Читать все
    Занимаюсь написанием студенческих работ (дипломные работы, маг. диссертации). Участник международных конференций (экономика/менеджмент/юриспруденция). Постоянно публикуюсь, имею высокий индекс цитирования. Спикер.
    #Кандидатские #Магистерские
    1386 Выполненных работ
    Кормчий В.
    4.3 (248 отзывов)
    Специализация: диссертации; дипломные и курсовые работы; научные статьи.
    Специализация: диссертации; дипломные и курсовые работы; научные статьи.
    #Кандидатские #Магистерские
    335 Выполненных работ
    Дмитрий Л. КНЭУ 2015, Экономики и управления, выпускник
    4.8 (2878 отзывов)
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    Занимаю 1 место в рейтинге исполнителей по категориям работ "Научные статьи" и "Эссе". Пишу дипломные работы и магистерские диссертации.
    #Кандидатские #Магистерские
    5125 Выполненных работ
    Олег Н. Томский политехнический университет 2000, Инженерно-эконо...
    4.7 (96 отзывов)
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Явл... Читать все
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Являюсь действующим преподавателем одного из ВУЗов.
    #Кандидатские #Магистерские
    177 Выполненных работ
    Андрей С. Тверской государственный университет 2011, математический...
    4.7 (82 отзыва)
    Учился на мат.факе ТвГУ. Любовь к математике там привили на столько, что я, похоже, никогда не перестану этим заниматься! Сейчас работаю в IT и пытаюсь найти время на... Читать все
    Учился на мат.факе ТвГУ. Любовь к математике там привили на столько, что я, похоже, никогда не перестану этим заниматься! Сейчас работаю в IT и пытаюсь найти время на продолжение диссертационной работы... Всегда готов помочь! ;)
    #Кандидатские #Магистерские
    164 Выполненных работы
    Татьяна С. кандидат наук
    4.9 (298 отзывов)
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (пос... Читать все
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (поставки напрямую с издательств), доступ к библиотеке диссертаций РГБ
    #Кандидатские #Магистерские
    551 Выполненная работа

    Другие учебные работы по предмету

    Исследование структуры и свойств биоинертных сплавов системы Ti-Nb
    📅 2018год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
    Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий
    📅 2020год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)