Влияние индукции магнитного поля в области подложки и расстояния до плазмогенератора на структуру и механические свойства плёнок a–C:H:SiOx

Ярославцева, Ольга Анатольевна Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Объектом исследования являются a–C:H:SiOx плёнки, полученные плазмохимическим методом при использовании импульсного биполярного напряжения смещения.
Целью работы было изучение влияния индукции магнитного поля в области подложки и расстояния плазмогенератор/подложка на механические свойства a–C:H:SiOx плёнок, наносимых плазмохимическим методом с использованием импульсного биполярного напряжения смещения в парах полифенилметилсилоксана.
В процессе работы проводилась оптимизация условий осаждения и исследование механических свойств полученных плёнок.

Введение ………………………………………………………………………………………………….. 12
1. Объект исследований и методы его получения ……………………………………… 14
1.1. Углерод и плёнки на его основе ……………………………………………………. 14
1.2. Свойства и структура углеродных плёнок …………………………………….. 15
1.3. Способы получения алмазоподобных углеродных покрытий ………… 17
1.3.1. Способы получения a–C:H:SiOx покрытий ……………………………… 18
2. Экспериментальное и аналитическое оборудование ……………………………… 23
2.1. Экспериментальная вакуумная установка для нанесения a–C:H:SiOx
покрытий …………………………………………………………………………………………………. 23
2.2. Аналитическое оборудования исследования структуры и свойств
a–C:H:SiOx плёнок ……………………………………………………………………………………. 24
3. Результаты исследования структуры и свойств a–C:H:SiOx плёнок ……….. 26
3.1. Влияние условий осаждения на механические свойства a–C:H:SiOx
плёнок ……………………………………………………………………………………………………… 26
3.2. Влияние условий осаждения на структуру полученных плёнок …….. 29
3.3. Повышение механических и трибологических свойств стали марки
12Х18Н10Т ………………………………………………………………………………………………. 31
4. Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение .. 33
4.1.Оценка коммерческого потенциала и перспективности проведения
научных исследований с позиции ресурсоэффективности и
ресурсосбережения…………………………………………………………………………………… 33
4.1.1. Потенциальные потребители результатов исследования ……….. 33
4.1.2. Анализ конкурентных технических решений ………………………… 33
4.1.3. SWOT–анализ ………………………………………………………………………. 35
4.2. Планирование научно-исследовательских работ …………………………… 37
4.2.1. Структура работ в рамках научного исследования ………………….. 37
4.2.2. Определение трудоемкости выполнения работ ……………………….. 38
4.2.3. Разработка графика проведения научного исследования …………. 39
4.3. Бюджет научно–технического исследования (НТИ)………………………. 42
4.3.1. Расчет материальных затрат НТИ …………………………………………. 42
4.3.2. Расчет затрат на специальное оборудование для научных
(экспериментальных) работ ………………………………………………………………… 43
4.3.3. Основная заработная плата исполнителей темы ……………………. 44
4.3.4. Отчисления во внебюджетные фонды (страховые отчисления) 46
4.3.5. Накладные расходы ……………………………………………………………… 47
4.3.6. Формирование бюджета затрат НИП …………………………………….. 47
4.4.Определение финансовой, бюджетной и экономической
эффективности исследования …………………………………………………………………… 47
5. Социальная ответственность ………………………………………………………………… 51
5.1. Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности .. 51
5.1.1. Специальные правовые нормы трудового законодательства ……. 51
5.1.2. Эргономические требования к рабочей зоне …………………………… 52
5.2. Производственная безопасность …………………………………………………… 54
5.3. Анализ опасных и вредных производственных факторов ………………. 55
5.3.1. Микроклимат производственных помещений …………………………. 55
5.3.2. Шум на рабочем месте …………………………………………………………… 56
5.3.3. Освещенность рабочей зоны…………………………………………………… 57
5.3.4. Электромагнитное излучение …………………………………………………. 58
5.3.6. Электробезопасность ……………………………………………………………. 59
5.3.7. Пожарная и взрывная безопасность ………………………………………. 61
5.4. Организационные мероприятия по снижению уровней воздействия
опасных и вредных факторов ……………………………………………………………………. 63
5.5. Экологическая безопасность…………………………………………………………. 64
5.6. Безопасность в чрезвычайных ситуациях ……………………………………… 66
Заключение ……………………………………………………………………………………………… 69
Список литературы ………………………………………………………………………………….. 70
Приложение А (справочное) …………………………………………………………………….. 74

Непрерывный прогресс практически во всех областях техники вызывает
резкое увеличение рабочих параметров многих механических и
биомедицинских систем, которые включают в себя более высокие скорости
обработки, повышенную нагрузку и работу в различных средах. Поэтому
изучение свойств трения и износа имеет огромное практическое значение при
разработке и оптимизации медицинских имплантатов, а также различных
компонентов двигателя и механизмов.

В результате исследований, проведенных в рамках выполнения ВКР,
были исследованы зависимости твёрдости и модуля упругости, индекса
эластичности и сопротивления пластической деформации, а также структуры
a–C:H:SiOx плёнок от параметров осаждения, в частности расстояния
плазмогенератор/подложка, индукции магнитного поля и амплитуды
отрицательного биполярного напряжения смещения.
1) Установлено, что при уменьшении Lпг/подл происходит увеличение
плотности ионного тока на подложку, что приводит к более плотной и
более алмазоподобной структуре плёнки.

2) При повышении Uсм и В твёрдость и модуль упругости снижаются, то есть
механические характеристики ухудшаются. Это является следствием
перегрева подложки из–за высокоинтенсивной ионной бомбардировки и
графитизации плёнок.

3) Осаждение a–C:H:SiOx плёнки обеспечивает снижение коэффициента
трения стали марки 12Х18Н10Т с 0,5 до 0,1 и скорости износа с
7∙10-5 мм3/Н∙м до 8∙10-7 мм3/Н∙м при толщине покрытия 2±0,2 мкм и
параметрах осаждения Uсм=500 В, Lпг/подл = 100 мм, В = 3 Гс

Таким образом, получены a–C:H:SiOx плёнки с высокими
механическими и трибологическими параметрами, которые могут
использоваться в качестве защитных покрытий для трущихся деталей.

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Алёна В. ВГПУ 2013, исторический, преподаватель
    4.2 (5 отзывов)
    Пишу дипломы, курсовые, диссертации по праву, а также истории и педагогике. Закончила исторический факультет ВГПУ. Имею высшее историческое и дополнительное юридическо... Читать все
    Пишу дипломы, курсовые, диссертации по праву, а также истории и педагогике. Закончила исторический факультет ВГПУ. Имею высшее историческое и дополнительное юридическое образование. В данный момент работаю преподавателем.
    #Кандидатские #Магистерские
    25 Выполненных работ
    Оксана М. Восточноукраинский национальный университет, студент 4 - ...
    4.9 (37 отзывов)
    Возможно выполнение работ по правоведению и политологии. Имею высшее образование менеджера ВЭД и правоведа, защитила кандидатскую и докторскую диссертации по политоло... Читать все
    Возможно выполнение работ по правоведению и политологии. Имею высшее образование менеджера ВЭД и правоведа, защитила кандидатскую и докторскую диссертации по политологии.
    #Кандидатские #Магистерские
    68 Выполненных работ
    Александр О. Спб государственный университет 1972, мат - мех, преподав...
    4.9 (66 отзывов)
    Читаю лекции и веду занятия со студентами по матанализу, линейной алгебре и теории вероятностей. Защитил кандидатскую диссертацию по качественной теории дифференциальн... Читать все
    Читаю лекции и веду занятия со студентами по матанализу, линейной алгебре и теории вероятностей. Защитил кандидатскую диссертацию по качественной теории дифференциальных уравнений. Умею быстро и четко выполнять сложные вычислительные работ
    #Кандидатские #Магистерские
    117 Выполненных работ
    Вики Р.
    5 (44 отзыва)
    Наличие красного диплома УрГЮУ по специальности юрист. Опыт работы в профессии - сфера банкротства. Уровень выполняемых работ - до магистерских диссертаций. Написан... Читать все
    Наличие красного диплома УрГЮУ по специальности юрист. Опыт работы в профессии - сфера банкротства. Уровень выполняемых работ - до магистерских диссертаций. Написание письменных работ для меня в удовольствие.Всегда качественно.
    #Кандидатские #Магистерские
    60 Выполненных работ
    Анастасия Б.
    5 (145 отзывов)
    Опыт в написании студенческих работ (дипломные работы, магистерские диссертации, повышение уникальности текста, курсовые работы, научные статьи и т.д.) по экономическо... Читать все
    Опыт в написании студенческих работ (дипломные работы, магистерские диссертации, повышение уникальности текста, курсовые работы, научные статьи и т.д.) по экономическому и гуманитарному направлениях свыше 8 лет на различных площадках.
    #Кандидатские #Магистерские
    224 Выполненных работы
    Дарья П. кандидат наук, доцент
    4.9 (20 отзывов)
    Профессиональный журналист, филолог со стажем более 10 лет. Имею профильную диссертацию по специализации "Радиовещание". Подробно и серьезно разрабатываю темы научных... Читать все
    Профессиональный журналист, филолог со стажем более 10 лет. Имею профильную диссертацию по специализации "Радиовещание". Подробно и серьезно разрабатываю темы научных исследований, связанных с журналистикой, филологией и литературой
    #Кандидатские #Магистерские
    33 Выполненных работы
    Елена С. Таганрогский институт управления и экономики Таганрогский...
    4.4 (93 отзыва)
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на напис... Читать все
    Высшее юридическое образование, красный диплом. Более 5 лет стажа работы в суде общей юрисдикции, большой стаж в написании студенческих работ. Специализируюсь на написании курсовых и дипломных работ, а также диссертационных исследований.
    #Кандидатские #Магистерские
    158 Выполненных работ
    Анна В. Инжэкон, студент, кандидат наук
    5 (21 отзыв)
    Выполняю работы по экономическим дисциплинам. Маркетинг, менеджмент, управление персоналом. управление проектами. Есть опыт написания магистерских и кандидатских диссе... Читать все
    Выполняю работы по экономическим дисциплинам. Маркетинг, менеджмент, управление персоналом. управление проектами. Есть опыт написания магистерских и кандидатских диссертаций. Работала в маркетинге. Практикующий бизнес-консультант.
    #Кандидатские #Магистерские
    31 Выполненная работа
    Петр П. кандидат наук
    4.2 (25 отзывов)
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт напис... Читать все
    Выполняю различные работы на заказ с 2014 года. В основном, курсовые проекты, дипломные и выпускные квалификационные работы бакалавриата, специалитета. Имею опыт написания магистерских диссертаций. Направление - связь, телекоммуникации, информационная безопасность, информационные технологии, экономика. Пишу научные статьи уровня ВАК и РИНЦ. Работаю техническим директором интернет-провайдера, имею опыт работы ведущим сотрудником отдела информационной безопасности филиала одного из крупнейших банков. Образование - высшее профессиональное (в 2006 году окончил военную Академию связи в г. Санкт-Петербурге), послевузовское профессиональное (в 2018 году окончил аспирантуру Уральского федерального университета). Защитил диссертацию на соискание степени "кандидат технических наук" в 2020 году. В качестве хобби преподаю. Дисциплины - сети ЭВМ и телекоммуникации, информационная безопасность объектов критической информационной инфраструктуры.
    #Кандидатские #Магистерские
    33 Выполненных работы

    Другие учебные работы по предмету

    Исследование структуры и свойств биоинертных сплавов системы Ti-Nb
    📅 2018год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
    Кальций-фосфатные мишени для ВЧ-магнетронного осаждения биосовместимых покрытий
    📅 2020год
    🏢 Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)