Эволюция доменной структуры сегнетоэлектриков при локальном переключении поляризации и эффекты самоорганизации : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07

📅 2019 год
Турыгин, А. П.
Бесплатно
В избранное
Работа доступна по лицензии Creative Commons:«Attribution» 4.0

Введение……………………………………………………………………………………………………. 5 Глава 1. Литературный обзор……………………………………………………………………. 13 1.1 Определение и основные свойства сегнетоэлектриков ……………………… 13
1.1.1 Деполяризующее поле …………………………………………………………….. 14
1.1.2 Внешнее экранирование ………………………………………………………….. 15
1.1.3 Механизмы внутреннего экранирования………………………………….. 16
1.2 Переключение поляризации под действием внешнего электрического поля 17
1.2.1 Кинетика доменной структуры………………………………………………… 17
1.2.2 Особенности переключения поляризации при неэффективном
экранировании……………………………………………………………………………………. 19
1.3 Использование сканирующей зондовой микроскопии при исследовании сегнетоэлектриков …………………………………………………………… 20
1.3.1 Атомная силовая микроскопия ………………………………………………… 21
1.3.2 Силовая микроскопия зонда Кельвина …………………………………….. 22
1.3.3 Силовая микроскопия пьезоэлектрического отклика ……………….. 23
1.3.4 Локальное переключение поляризации ……………………………………. 25
1.3.5 Измерение локальных петель гистерезиса ……………………………….. 28
1.4 Ниобат лития………………………………………………………………………………… 30
1.4.1 Физические свойства ………………………………………………………………. 30
1.4.2 Доменная структура ………………………………………………………………… 32
1.5 Цирконат –титанат бария-кальция…………………………………………………. 32
1.5.1 Физические свойства ………………………………………………………………. 32
1.5.2 Доменная структура ………………………………………………………………… 33
1.6 Ниобат натрия-калия …………………………………………………………………….. 34
1.6.1 Физические свойства ………………………………………………………………. 34
1.6.2 Доменная структура ………………………………………………………………… 35
1.7 Феррит висмута…………………………………………………………………………….. 37
1.7.1 Физические свойства ………………………………………………………………. 37
1.7.2 Доменная структура ………………………………………………………………… 38
3
1.8 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 39
Глава 2. Исследуемые образцы, экспериментальные установки и методики экспериментов …………………………………………………………………………………………. 41
2.1 Исследуемые образцы …………………………………………………………………… 41
2.1.1 Монокристаллы ниобата лития………………………………………………… 41
2.1.2 Бессвинцовая пьезокерамика цирконат–титанат бария–кальция . 41
2.1.3 Бессвинцовая пьезокерамика ниобат натрия-калия ………………….. 42
2.1.4 Бессвинцовая пьезокерамика феррит висмута ………………………….. 42
2.2 Экспериментальные установки ……………………………………………………… 43
2.2.1 Сканирующая зондовая микроскопия………………………………………. 43
2.2.2 Сканирующая электронная микроскопия …………………………………. 44
2.3 Методика измерений в режиме силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика ………………………………………………………………… 45
2.3.1 Методика анализа размера доменов…………………………………………. 45
2.3.2 Методика анализа концентрации доменных стенок………………….. 46
2.3.2 Методика количественного разделения фаз……………………………… 47
2.4 Методика измерений в режиме силовой микроскопии зонда Кельвина 48
2.5 Методика локального переключения поляризации ………………………… 48
2.6 Методика измерения локальных петель гистерезиса ……………………… 51
2.7 Методика измерения диэлектрической проницаемости………………….. 51
2.8 Методика селективного химического травления ……………………………. 52
2.9 Расчёты методом конечных элементов ………………………………………….. 53
2.10 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 53
Глава 3. Прямое прорастание доменов. Исследование на неполярных срезах ниобата лития ………………………………………………………………………………………….. 55
3.1 Рост домена при локальном переключении на неполярном срезе ниобата лития ……………………………………………………………………………………….. 55
3.2 Форма доменов в объеме ………………………………………………………………. 58
3.3 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 59
Глава 4. Взаимодействие изолированных доменов на неполярном срезе …… 61 4.1 Влияние влажности на размеры доменов ………………………………………. 61

4
4.2 Влияние расстояния между точками переключения на размеры доменов ………………………………………………………………………………………………… 62
4.3 Фазовая диаграмма ……………………………………………………………………….. 64
4.4 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 64
Глава 5. Формирование самоорганизованной доменной структуры на неполярном срезе …………………………………………………………………………………….. 66
5.1 Формирование самоорганизованной структуры при сканировании с приложением напряжения в CLN…………………………………………………………… 66
5.2 Формирование самоорганизованной структуры при сканировании без приложения напряжения в CLN …………………………………………………………….. 68
5.3 Моделирование роста самоорганизованной структуры ………………….. 74
5.4 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 80
Глава 6. Доменная структура и ее эволюция в отдельных зернах сегнетоэлектрической керамики……………………………………………………………….. 81
6.1 Влияние легирования на исходную доменную структуру ………………. 81
6.1.1 Исходная доменная структура в керамиках BFO:Sm ………………… 81
6.1.2 Исходная доменная структура в керамиках KNN:Sr …………………. 82
6.2 Исходная доменная структура в керамике BCZT …………………………… 84
6.3 Роль заряженных доменных стенок в диэлектрической релаксации в
керамике KNN ………………………………………………………………………………………. 86
6.4 Локальное переключение поляризации в отдельном зерне …………….. 88
6.5 Релаксация индуцированной доменной структуры в CBZT ……………. 95
6.6 Краткие выводы ……………………………………………………………………………. 96
Заключение ……………………………………………………………………………………………… 98 Благодарности………………………………………………………………………………………… 100 Список сокращений условных обозначений ……………………………………………. 101 Список литературы ………………………………………………………………………………… 105 Список публикаций по теме диссертации ……………………………………………….. 119

Актуальность темы исследования и степень ее разработанности.
Процесс переключения поляризации под действием внешнего электрического поля в сегнетоэлектриках, сопровождаемый изменением доменной структуры, может быть рассмотрен как аналог фазового перехода первого рода. Исследование кинетики фазовых переходов в физике конденсированного состояния представляет значительный интерес для изучения общих закономерностей кинетики фазовых превращений.
Исследование эволюции доменной структуры является важной фундаментальной задачей физики сегнетоэлектриков. В частности, значительный интерес представляет исследование роста доменов в полярном направлении (“прямое прорастание”), сопровождаемое формированием заряженных доменных стенок. Следует отметить, что экспериментальное изучение этого процесса затруднено необходимостью визуализации доменов в объеме с высоким пространственным разрешением. В результате к настоящему времени одна из основных стадий эволюции доменной структуры при переключении поляризации сравнительно слабо изучена.
Наличие доменных стенок в сегнетоэлектриках оказывает существенное влияние на диэлектрические, пьезоэлектрические и нелинейно-оптические свойства [1]. Поэтому исследования кинетики доменной структуры представляют значительный интерес для развития методов микро- и нанодоменной инженерии [2]. Основной целью доменной инженерии является изменение характеристик сегнетоэлектриков важных для применения путем создания стабильных доменных структур с необходимыми параметрами для улучшения характеристик устройств за счет пространственной модуляции пьезоэлектрических, электрооптических, фоторефрактивных и нелинейно- оптических свойств. Особый интерес представляет создание преобразователей частоты лазерного излучения на основе кристаллов с периодическими доменными структурами и устройств хранения данных со сверхвысокой плотностью записи [3].
6
Одним из методов исследования и создания нанодоменных структур с
высоким пространственным разрешением является сканирующая зондовая микроскопия. Локальное переключение поляризации с помощью зонда сканирующего зондового микроскопа, позволяет изучать доменную структуру с высоким пространственным разрешением в отдельных зернах керамики [4], а также исследовать прямое прорастание доменов и формирование самоорганизованных нанодоменных структур на неполярном срезе монокристаллов сегнетоэлектриков.
В качестве объекта исследований в работе использованы монокристаллы семейства одноосного сегнетоэлектрика ниобата лития LiNbO3. Этот кристалл является наиболее широко используемым нелинейно-оптическим материалом. Кроме того, высокая однородность кристаллов и сравнительно простая доменная структура, которая может быть визуализирована с высоким пространственным разрешением различными методами, позволяет использовать его как модельный материал. Также была исследована доменная структура и особенности локального переключения в бессвинцовых сегнетоэлектрических керамиках: Ba0.85Ca0.15Ti0.90Zr0.10O3 (BCZT), Bi1-xSmxFeO3 (BFO-100x%Sm) и (K0.5Na0.5)1-2xSrxNbO3 (KNN-100x%Sr), которые рассматриваются в настоящее время как наиболее вероятные кандидаты для замены наиболее распространенной пьезокерамики титаната- цирконата свинца в связи с её токсичностью [5].
Таким образом, проводимые исследования имеют важное фундаментальное и прикладное значение.
Цель работы заключается в исследовании особенностей формирования доменной структуры на неполярном срезе одноосного сегнетоэлектрика ниобата лития и в отдельных зернах бессвинцовых пьезокерамик при локальном переключении поляризации проводящим зондом сканирующего микроскопа.

7
Основные задачи:
1)Исследовать рост доменов в полярном направлении и их форму, а также взаимодействие изолированных доменов при локальном переключении на неполярных срезах CLN и MgO:LN.
2)Исследовать формирование самоорганизованной доменной структуры на неполярных срезах CLN при сканировании зондом с приложением напряжения и заземленным зондом без приложения напряжения.
3) Провести компьютерное моделирование формирования самоорганизованной доменной структуры при переключении на неполярном срезе с учетом электростатического взаимодействия изолированных доменов.
4)Исследовать влияние легирования на исходную доменную структуру бессвинцовых пьезокерамик BFO:Sm и KNN:Sr.
5) Исследовать особенности локального переключения поляризации и релаксации индуцированной доменной структуры в отдельных зернах бессвинцовых пьезокерамик KNN:Sr и BCZT.
Объекты исследования. В качестве объекта исследований в работе использованы монокристаллы одноосного сегнетоэлектрика ниобата лития LiNbO3 (LN) конгруэнтного состава (СLN) и легированного 5% оксида магния (MgO:LN). Исследовалось прямое прорастание доменов и формирование самоорганизованных доменных структур в результате локального переключения поляризации на неполярных X и Y срезах. Исходная доменная структура, локальное переключение поляризации и релаксация индуцированной доменной структуры изучались в бессвинцовых пьезокерамиках BFO, KNN и BCZT.
Научная новизна работы заключается в следующем:
1) Впервые с высоким пространственным разрешением проведено исследование роста доменов в полярном направлении (прямое прорастание) и предложена оригинальная модель для описания процесса за счет

8
генерации ступеней на доменной стенке и движения взаимодействующих
заряженных кинков.
2)При локальном переключении поляризации на неполярных срезах
монокристаллов MgO:LN выявлено три режима чередования длин образующихся доменов: однородный, прерывистый квазипериодический и хаотический.
3)Обнаружено формирование самоорганизованной доменной структуры на неполярных срезах CLN при сканировании зондом СЗМ с приложением напряжения. Измерена полевая зависимость длины доменов и периода структуры, выявлены режимы кратного увеличения периода структуры – удвоения и учетверения.
4) Впервые обнаружено формирование самоорганизованной доменной структуры на неполярных срезах CLN при сканировании заземленным зондом СЗМ без приложения напряжения вблизи ранее переключённого домена.
5) Проведено моделирование формирования квазирегулярных рядов изолированных доменов на неполярном срезе LN с учетом электростатического взаимодействия доменов с заряженными доменными стенками.
6) Выявленное увеличение диэлектрической проницаемости с ростом степени легирования в KNN:Sr отнесено за счет увеличения концентрации проводящих заряженных доменных стенок, являющихся проводящими включениями в диэлектрической матрице, что создает эффект релаксации Максвелла-Вагнера.
7)Анализ зависимостей радиуса домена от длительности и амплитуды импульса при локальном переключении в отдельных зернах бессвинцовых пьезокерамик, позволил определить поля активации и поля смещения, характеризующие движение доменных стенок.

9
Теоретическая значимость:
1) Предложена оригинальная модель для объяснения роста домена в полярном направлении (прямого прорастания) – одной из стадий эволюции доменной структуры при переключении поляризации.
2) Предложена и апробирована модель для объяснения эффекта переключения поляризации проводящим заземленным зондом без приложения напряжения, с учетом ранее поверхностного инжектированного заряда.
3) Проведено моделирование формирования квазирегулярных рядов доменов на неполярном срезе с учетом взаимодействия изолированных доменов с заряженными доменными стенками, и выявлены режимы чередования длин доменов, аналогичные экспериментальным результатам.
Практическая значимость:
1) Закономерности роста и взаимодействия изолированных доменов представляют интерес для развития технологий создания регулярных доменных структур.
2)Формирование квазирегулярных доменных структур при сканировании зондом на неполярном срезе может быть использовано для развития инженерии доменных стенок и создания субмикронных периодических доменных структур.
3)Зависимость диэлектрической проницаемости от параметров доменной структуры позволит улучшать диэлектрические и пьезоэлектрические свойства керамик.
Положения, выносимые на защиту:
1) Прямое прорастание изолированного домена при локальном переключении на неполярных срезах LN и его аномально большая длина обусловлены генерацией ступеней вблизи зонда и движением взаимодействующих заряженных кинков в полярном направлении.
2) Чередование длин изолированных доменов, образующихся при локальном переключении поляризации на неполярных срезах LN, обусловлено

10
электростатическим взаимодействием доменов с заряженными доменными
стенками.
3)Формирование самоорганизованной доменной структуры на неполярных
срезах LN при сканировании заземленным зондом СЗМ без приложения напряжения обусловлено влиянием заряда, инжектированного ранее при создании исходного домена.
4) Формирование самоорганизованной доменной структуры при сканировании поверхности неполярного среза LN обусловлено взаимодействием между изолированными клиновидными доменами с заряженными доменными стенками.
5) Значительное увеличение диэлектрической проницаемости с ростом степени легирования в пьезокерамике KNN:Sr обусловлено увеличением концентрации проводящих заряженных доменных стенок, играющих роль проводящих включений в диэлектрической матрице.
6)Кинетика доменных стенок при локальном переключении поляризации в отдельных зернах исследованных пьезокерамик KNN:Sr, BFO:Sm, BCZT, подчиняется активационному закону с учетом поля смещения.
Методология и методы исследования. Подробные экспериментальные исследования доменной структуры проводились с использованием современного высокоточного аналитического оборудования. Визуализация доменной структуры была осуществлена с помощью силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика. Доменная структура после селективного травления была визуализирована при помощи сканирующей электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии. Расчёты пространственного распределения электрического поля проводились с использованием программных пакетов Wolfram Mathematica и COMSOL Multiphysics 5.0.
Достоверность полученных результатов обеспечивается применением поверенных и калиброванных средств измерений, аттестованных методик измерений, надежной статистикой экспериментов, применением современных

11
и независимых методов обработки экспериментальных данных, согласием с
результатами других авторов и непротиворечивостью известным физическим моделям. Достоверность расчетов подтверждается обоснованностью допущений, а также согласованностью с экспериментальными результатами.
Апробация результатов. Основные результаты были представлены на 16 всероссийских и международных конференциях и симпозиумах: 1) Int. Conference “Piezoresponse Forсe Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials” (Ekaterinburg, 2014); 2) 12th Int. Symposium on Ferroic Domains (Nanjing, China, 2014); 3) 13th European Meeting on Ferroelectricity (Porto, Portugal, 2015); 4-5) Int. Workshop “Modern Nanotechnologies” (Ekaterinburg, 2015, 2016); 6) Joint RCBJSF-IWRF Conference (Matsue, Japan, 2016); 7) 13th Int. Symposium on Ferroic Domains and Micro- to Nanoscopic Structures (Vancouver, Canada, 2016); 8) Int. Conference on Technologically Advanced Materials and Asian Meeting on Ferroelectricity (New Delhi, India, 2016); 9) XXI Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (Казань, 2017); 10-11) Int. Conference “Scanning Probe Microscopy 2017, 2018” (Ekaterinburg); 12) Joint IEEE Int. Symposium on Application of Ferroelectrics (Atlanta, USA, 2017); 13) 14th Int. Meeting on Ferroelectricity (San Antonio, USA); 14) XXII международном симпозиуме «Нанофизика и наноэлектроника» (Нижний Новгород, 2018); 15) Russia/CIS/Baltic/Japan symposia on ferroelectrics (2018, Санкт-Петербург); 16) European Conference on Applications of Polar Dielectrics (Moscow, 2018).
Публикации и личный вклад автора
Основные результаты исследований опубликованы в 44 печатных работах, в том числе в 9 статьях в рецензируемых научных журналах из перечня ВАК и в 35 тезисах международных и всероссийских конференций.
Диссертационная работа выполнена в лаборатории сегнетоэлектриков отдела оптоэлектроники и полупроводниковой техники Института естественных наук с использованием оборудования Уральского ЦКП «Современные нанотехнологии» УрФУ в рамках исследований, проводимых

12
при частичной поддержке РФФИ (гранты 10-02-00627-а, 13-02-01391-а) и
Российского научного фонда (грант 14-12-00826).
Основные результаты работы были получены лично автором. Выбор
направления исследований, обсуждение результатов и формулировка задач проводились совместно с научным руководителем профессором В.Я. Шуром. Эксперименты по исследованию исходной доменной структуры и локальному переключению поляризации проводились совместно с к.ф.- м.н. Д.О. Аликиным и к.ф.-м.н. М.М. Нерадовским. Компьютерное моделирование проводилось совместно с М.С. Кособоковым. Исследование параметров доменной структуры, анализ и обработка результатов, проводились лично автором. Визуализация ДС методом сканирующей электронной микроскопии проводилась совместно с к.ф.-м.н. Д.О. Аликиным, измерение диэлектрической проницаемости проводилось совместно с м.н.с. А.А. Есиным.
Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, 6 глав, заключения, списка сокращений и условных обозначений и цитируемой литературы. Общий объем работы составляет 126 страниц, включая 73 рисунка, 4 таблицы, список сокращений и условных обозначений и список литературы из 136 наименований.

Заказать новую

Лучшие эксперты сервиса ждут твоего задания

от 5 000 ₽

Не подошла эта работа?
Закажи новую работу, сделанную по твоим требованиям

    Нажимая на кнопку, я соглашаюсь на обработку персональных данных и с правилами пользования Платформой

    Помогаем с подготовкой сопроводительных документов

    Совместно разработаем индивидуальный план и выберем тему работы Подробнее
    Помощь в подготовке к кандидатскому экзамену и допуске к нему Подробнее
    Поможем в написании научных статей для публикации в журналах ВАК Подробнее
    Структурируем работу и напишем автореферат Подробнее

    Хочешь уникальную работу?

    Больше 3 000 экспертов уже готовы начать работу над твоим проектом!

    Дмитрий М. БГАТУ 2001, электрификации, выпускник
    4.8 (17 отзывов)
    Помогаю с выполнением курсовых проектов и контрольных работ по электроснабжению, электроосвещению, электрическим машинам, электротехнике. Занимался наукой, писал стать... Читать все
    Помогаю с выполнением курсовых проектов и контрольных работ по электроснабжению, электроосвещению, электрическим машинам, электротехнике. Занимался наукой, писал статьи, патенты, кандидатскую диссертацию, преподавал. Занимаюсь этим с 2003.
    #Кандидатские #Магистерские
    19 Выполненных работ
    Сергей Н.
    4.8 (40 отзывов)
    Практический стаж работы в финансово - банковской сфере составил более 30 лет. За последние 13 лет, мной написано 7 диссертаций и более 450 дипломных работ и научных с... Читать все
    Практический стаж работы в финансово - банковской сфере составил более 30 лет. За последние 13 лет, мной написано 7 диссертаций и более 450 дипломных работ и научных статей в области экономики.
    #Кандидатские #Магистерские
    56 Выполненных работ
    Олег Н. Томский политехнический университет 2000, Инженерно-эконо...
    4.7 (96 отзывов)
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Явл... Читать все
    Здравствуйте! Опыт написания работ более 12 лет. За это время были успешно защищены более 2 500 написанных мною магистерских диссертаций, дипломов, курсовых работ. Являюсь действующим преподавателем одного из ВУЗов.
    #Кандидатские #Магистерские
    177 Выполненных работ
    Татьяна С. кандидат наук
    4.9 (298 отзывов)
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (пос... Читать все
    Большой опыт работы. Кандидаты химических, биологических, технических, экономических, юридических, философских наук. Участие в НИОКР, Только актуальная литература (поставки напрямую с издательств), доступ к библиотеке диссертаций РГБ
    #Кандидатские #Магистерские
    551 Выполненная работа
    Екатерина С. кандидат наук, доцент
    4.6 (522 отзыва)
    Практически всегда онлайн, доработки делаю бесплатно. Дипломные работы и Магистерские диссертации сопровождаю до защиты.
    Практически всегда онлайн, доработки делаю бесплатно. Дипломные работы и Магистерские диссертации сопровождаю до защиты.
    #Кандидатские #Магистерские
    1077 Выполненных работ
    Александр Р. ВоГТУ 2003, Экономический, преподаватель, кандидат наук
    4.5 (80 отзывов)
    Специальность "Государственное и муниципальное управление" Кандидатскую диссертацию защитил в 2006 г. Дополнительное образование: Оценка стоимости (бизнеса) и госфин... Читать все
    Специальность "Государственное и муниципальное управление" Кандидатскую диссертацию защитил в 2006 г. Дополнительное образование: Оценка стоимости (бизнеса) и госфинансы (Казначейство). Работаю в финансовой сфере более 10 лет. Банки,риски
    #Кандидатские #Магистерские
    123 Выполненных работы
    Анна Александровна Б. Воронежский государственный университет инженерных технол...
    4.8 (30 отзывов)
    Окончила магистратуру Воронежского государственного университета в 2009 г. В 2014 г. защитила кандидатскую диссертацию. С 2010 г. преподаю в Воронежском государственно... Читать все
    Окончила магистратуру Воронежского государственного университета в 2009 г. В 2014 г. защитила кандидатскую диссертацию. С 2010 г. преподаю в Воронежском государственном университете инженерных технологий.
    #Кандидатские #Магистерские
    66 Выполненных работ
    Татьяна П. МГУ им. Ломоносова 1930, выпускник
    5 (9 отзывов)
    Журналист. Младший научный сотрудник в институте РАН. Репетитор по английскому языку (стаж 6 лет). Также знаю французский. Сейчас занимаюсь написанием диссертации по и... Читать все
    Журналист. Младший научный сотрудник в институте РАН. Репетитор по английскому языку (стаж 6 лет). Также знаю французский. Сейчас занимаюсь написанием диссертации по истории. Увлекаюсь литературой и темой космоса.
    #Кандидатские #Магистерские
    11 Выполненных работ
    Татьяна Б.
    4.6 (92 отзыва)
    Добрый день, работаю в сфере написания студенческих работ более 7 лет. Всегда довожу своих студентов до защиты с хорошими и отличными баллами (дипломы, магистерские ди... Читать все
    Добрый день, работаю в сфере написания студенческих работ более 7 лет. Всегда довожу своих студентов до защиты с хорошими и отличными баллами (дипломы, магистерские диссертации, курсовые работы средний балл - 4,5). Всегда на связи!
    #Кандидатские #Магистерские
    138 Выполненных работ

    Последние выполненные заказы

    Другие учебные работы по предмету

    Радиационное упрочнение и оптические свойства материалов на основе SiO2
    📅 2022год
    🏢 ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
    Особенности формирования реальной структуры эпитаксиальных CVD-пленок алмаза с природным и модифицированным изотопным составом
    📅 2021год
    🏢 ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
    Исследование комплексной диэлектрической проницаемости конденсированных сред на основе новых методов терагерцовой импульсной спектроскопии
    📅 2021год
    🏢 ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»